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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0124118 (2020-09-24) | |
공개번호 | 10-2020-0117930 (2020-10-14) | |
등록번호 | 10-2192623-0000 (2020-12-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200124118 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-09-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
박막 증착장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 박막 증착장치는 박막 증착공간을 제공하는 반응실, 상기 반응실의 일 측면에서 상기 반응실 내부로 증착가스를 제공하는 흡기부 및 상기 반응실의 타 측면에 형성되어 상기 반응실을 통과한 증착가스를 배출시키는 배기부를 포함하되, 상기 흡기부는, 상기 증착가스를 상기 반응실의 폭 방향으로 1차 분산시키는 제1 버퍼존 및 상기 제1 버퍼존과 다른 레벨(level)에 마련되어, 상기 1차 분산된 증착가스를 상기 반응실의 폭 방향으로 2차 분산시키는 제2 버퍼존을 포함할 수 있다.
박막 증착공간을 제공하는 반응실;상기 반응실의 일 측면에서 상기 반응실 내부로 증착가스를 제공하는 흡기부; 및상기 반응실의 타 측면에 형성되어 상기 반응실을 통과한 증착가스를 배출시키는 배기부를 포함하되,상기 흡기부는, 상기 증착가스를 상기 반응실의 폭 방향으로 1차 분산시키는 제1 버퍼존 및 상기 제1 버퍼존과 다른 레벨(level)에 마련되어, 상기 1차 분산된 증착가스를 상기 반응실의 폭 방향으로 2차 분산시키는 제2 버퍼존을 포함하며,상기 배기부는 적어도 두 개의 분산펌핑포트가 마련된 제1 펌핑존과 상기 제1 펌핑존과 다른
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