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연합인증

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ALD 장비의 공정 모니터링 및 제어 시스템 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 세종대학교 산학협력단
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2012-06
과제시작연도 2011
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201200009322
과제고유번호 1425068123
사업명 산학연협력기술개발
DB 구축일자 2013-04-18

초록

1. 최종목표
- Quartz crystal microbalance (QCM)을 적용한 ALD공정 자동제어 소프트웨어 개발
- 개발 소프트웨어의 ALD 장비 실장 테스트 및 검증
2. 개발내용 및 결과
- QCM을 적용한 ALD공정 제어 로직 개발 완료
- ALD 장비 실장 테스트 및 검증완료
- 특허출원 1건
3. 사업성과
◦ 기술적 성과
- 기존 ALD 장비는 실시간 박막두께를 모니터링하지 않고, 공정종료 후 확인 가능하기 때문에, 공정 시간과 비용이 증가하고 생산 효율이 매우 떨

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 최종보고서 제출서 ... 2
  • 사업비사용실적보고서 ... 3
  • 개발결과의견서 ... 9
  • 최종보고요약서(초록) ... 10
  • 목차 ... 12
  • 제 1장 기술 개발의 개요 ... 13
  • 제 1절 개발대상기술의 중요성 ... 13
  • 1. 개발대상기술의 개요 ... 13
  • 2. 개발대상기술의 필요성 ... 15
  • 제 2절 국내외 관련기술의 현황 ... 18
  • 1. 기술동향 ... 18
  • 2. 국내․외 시장동향 및 사업화 전망 ... 20
  • 제 3절 기술 개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 22
  • 1.예상 효과 ... 22
  • 2. 활용방안 ... 22
  • 제 2장 기술 개발 내용 및 방법 ... 24
  • 제 1절 기술개발 목표 및 세부 내용 ... 24
  • 1. 개발목표 ... 24
  • 2. 연구 내용 ... 26
  • 제2절 세부개발 내용 및 방법 ... 28
  • 1. QCM을 적용한 ALD장비의 구성 및 작용 ... 28
  • 2. 제어 로직 및 GUI개발 ... 30
  • 3. QCM이 적용된 ALD 박막 증착 장비 ... 38
  • 4. Al2O3 박막 증착 공정 조건 ... 39
  • 5. Al2O3 박막 분석 방법 ... 39
  • 제3절 기술 개발 결과 ... 41
  • 1. ALD 박막 증착 장비 ... 41
  • 2. ALD 박막 증착 공정 ... 45
  • 제 3장 결 론 ... 62
  • 제 1절 계획대비 실적 및 성과 ... 62
  • 제 2절 향후 개선 사항 ... 64
  • 제 3절 적용분야 및 기대 효과 ... 64
  • 참고문헌 ... 65
  • 첨부 1 ... 66
  • 첨부 2 ... 67
  • 소프트웨어 운용 안정성 테스트 결과보고 ... 68

표/그림 (32)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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