초록

기판 온도의 균일 제어가 가능한 정전척이 소개된다. 유전체 플레이트는 센터부와, 포커스링의 안착을 위해 센터부 주변에 마련된 에지부를 구비한다. 에지부에는 원주방향으로 연장되는 포커스링 척킹용 에지 전극이 엠베드된다. 에지 전극은 내측의 제1 전극과 그 외측의 제2 전극을 구비한다. 제1 전극은 갭을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 단부와 제2 단부를 가지며, 제2 전극은 제1 단부와 제2 단부 간의 갭을 통해 센터부로 연장되는 제2 전극 연장부를 구비한다. 제1 전극과 제2 전극에 서로 다른 극성의 전압이 인가된다.

대표청구항 ▼

기판 척킹용 전극이 엠베드된 센터부와, 포커스링의 안착을 위해 센터부 주변에 마련된 에지부를 구비하는 유전체 플레이트, 에지부에는 원주방향으로 연장되는 포커스링 척킹용 에지 전극이 엠베드됨; 및상기 유전체 플레이트를 지지하는 바디를 포함하며,상기 에지 전극은 내측의 제1 전극 및 제1 전극으로부터 이격된 외측의 제2 전극을 구비하며, 제1 전극은 갭을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 단부와 제2 단부를 가지며 그리고 센터부로 연장되는 제1 전극 연장부를 구비하며, 제2 전극은 제1 단부와 제2 단부 간의 갭을 통해 센터부로 연장되는

기판 척킹용 전극이 엠베드된 센터부와, 포커스링의 안착을 위해 센터부 주변에 마련된 에지부를 구비하는 유전체 플레이트, 에지부에는 원주방향으로 연장되는 포커스링 척킹용 에지 전극이 엠베드됨; 및상기 유전체 플레이트를 지지하는 바디를 포함하며,상기 에지 전극은 내측의 제1 전극 및 제1 전극으로부터 이격된 외측의 제2 전극을 구비하며, 제1 전극은 갭을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 단부와 제2 단부를 가지며 그리고 센터부로 연장되는 제1 전극 연장부를 구비하며, 제2 전극은 제1 단부와 제2 단부 간의 갭을 통해 센터부로 연장되는 제2 전극 연장부를 구비하고,상기 바디에는 제1 전극 연장부에 연결되는 제1 급전라인 및 제2 전극 연장부에 연결되는 제2 급전라인이 마련되며, 제1 전극 연장부와 제2 전극 연장부는 센터부 영역 내에서 각 급전라인과 연결되고,상기 제1 전극 연장부와 제2 전극 연장부를 통해 제1 전극과 제2 전극에 서로 다른 극성의 전압이 인가되며,상기 제1 전극은 반경방향으로 이격 배열된 2 이상의 제1 서브 전극들을 구비하며, 제2 전극은 반경방향으로 제1 서브 전극들과 교대 배열된 2 이상의 제2 서브 전극들을 구비하고,상기 제1 서브 전극들은 반경방향 연장되는 제1 조인트부에 의해 연결되며, 제2 서브 전극들은 반경방향 연장되는 제2 조인트부에 의해 연결되고, 제1 서브 전극들에는 제2 조인트부의 연장을 허용하기 위한 제1 갭이 마련되며, 제2 서브 전극들에는 제1 조인트부의 연장을 허용하기 위한 제2 갭이 마련되고, 제1 조인트부와 제2 조인트부는 이격되어 서로 마주하게 형성되며,상기 제1 전극 연장부는 제1 서브 전극들 중 최내측 서브 전극에 마련되며, 제2 전극 연장부는 제2 서브 전극들 중 최내측 서브 전극에 마련되는 것을 특징으로 하는 정전척.