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연합인증

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플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 장치를 포함하는 공정 처리 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01J-037/32
출원번호 10-2020-0147103 (2020-11-05)
공개번호 10-2022-0060920 (2022-05-12)
등록번호 10-2528811-0000 (2023-04-28)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200147103
발명자 / 주소
  • 최대규 / 서울특별시 성북구 대사관로*길 ** (성북동)
  • 이국환 / 경기도 용인시 처인구 양지면 한터로***번길 **-**
  • 이태희 / 경기도 용인시 처인구 명지로**번길 **-**
출원인 / 주소
  • 주식회사 뉴파워 프라즈마 / 경기도 수원시 권선구 산업로***번길 ***(고색동)
대리인 / 주소
  • 이기성
심사청구여부 있음 (2020-11-05)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

플라즈마 발생 장치는 내부에 플라즈마 형성 공간을 제공하는 반응기, 및 상기 반응기에 연결되며 상기 플라즈마와 반응한 배기 가스의 상변화에 의해 생성된 파우더를 포집하는 포집기를 포함하며, 상기 포집기는, 상기 배기 가스의 유로 상에 배치되며 상기 파우더를 포집하기 위한 포집 공간을 제공하는 하우징, 상기 포집 공간 내에 제공되며 상기 배기 가스의 유로의 방향을 변경시키는 유로 가이드, 및 상기 포집 공간에 제공되며 상기 유로를 복수 개로 나누는 유로 확장 부재를 포함한다.

대표청구항

내부에 플라즈마 형성 공간을 제공하는 반응기; 및상기 반응기에 연결되며 상기 플라즈마와 반응한 배기 가스의 상변화에 의해 생성된 파우더를 포집하는 포집기를 포함하며,상기 포집기는, 상기 배기 가스의 유로 상에 배치되며 상기 파우더를 포집하기 위한 포집 공간을 제공하는 하우징;상기 포집 공간 내에 제공되며 상기 배기 가스의 유로의 방향을 변경시키는 유로 가이드; 및상기 포집 공간에 제공되고 상기 유로를 복수 개로 나누며, 상기 유로의 방향에 수직하게 배치된 적어도 하나의 슬랫(slat)을 포함하는 유로 확장 부재;를 포함하는 플라즈마

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 입자 관성을 이용한 반도체 공정에서의 잔류 케미칼 및 부산물 포집장치 | 조재효, 이승일, 윤영준, 김태희
  2. [한국] 기판 처리 시스템 및 배기 가스 처리 방법 | 최대규
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