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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0162878 (2020-11-27) | |
등록번호 | 10-2294545-0000 (2021-08-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200162878 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-11-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
제1 가스유로가 마련된 유전체 플레이트와, 제1 가스유로와 연결되는 제2 가스유로를 구비하는 바디를 구비하는 정전척이 소개된다. 제1 가스유로와 제2 가스유로가 만나는 위치에 인서트가 설치된다. 인서트는 순도 90% 이상의 세라믹 소결체로 구성되며, 제1 가스유로와 연결된 상부홀; 제2 가스유로와 연결된 2 이상의 하부홀; 및 상부홀과 복수의 하부홀이 서로 연결되도록 인서트를 수평방향 관통하는 수평홀을 구비한다. 가스유로를 통해 플라즈마가 유입되어 아킹이 발생하는 것이 방지된다.
기판이 로딩되는 전면, 그 반대편의 후면 및 엠베드된 척킹 전극을 구비하며, 후면으로부터 전면으로 연장되는 제1 가스유로가 마련된 유전체 플레이트;상기 유전체 플레이트의 후면에 본딩되며, 제1 가스유로와 연결되는 제2 가스유로를 구비하는 바디; 및상기 제1 가스유로와 제2 가스유로가 만나는 위치에 마련되며, 순도 90% 이상의 세라믹 소결체로 구성된 인서트를 포함하고, 이 인서트는 제1 가스유로와 연결된 상부홀; 제2 가스유로와 연결되며, 상부홀과 상하방향 직접 연결되지 않고 어긋나게 배치된 2 이상의 하부홀; 및 상부홀과 복수의
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