초록 ▼

본 발명은 증발원 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착 물질을 균일하게 공급할 수 있는 증발원 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.본 발명의 실시 예에 따른 증발원은 증착 원료가 저장되도록 측 방향으로 연장된 내부 공간을 가지며, 상면의 적어도 일부가 개방되는 도가니; 측 방향으로 배열되는 복수의 분사구를 가지며, 상기 도가니의 개방된 상면에 결합되는 노즐 부재; 및 상기 도가니의 바닥과 상기 노즐 부재 사이에 위치하도록 상기 내부 공간에 설치되는 유도 부재;를 포함하고, 상기 유도

본 발명은 증발원 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착 물질을 균일하게 공급할 수 있는 증발원 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.본 발명의 실시 예에 따른 증발원은 증착 원료가 저장되도록 측 방향으로 연장된 내부 공간을 가지며, 상면의 적어도 일부가 개방되는 도가니; 측 방향으로 배열되는 복수의 분사구를 가지며, 상기 도가니의 개방된 상면에 결합되는 노즐 부재; 및 상기 도가니의 바닥과 상기 노즐 부재 사이에 위치하도록 상기 내부 공간에 설치되는 유도 부재;를 포함하고, 상기 유도 부재는, 측 방향으로 연장되어 상기 내부 공간에 설치되고, 측 방향을 따라 배열된 복수의 개방부를 가지는 제1 유도 부재; 및 상기 복수의 개방부의 상부에 각각 배치되도록 상기 내부 공간에 설치되는 복수의 제2 유도 부재;를 포함한다.

대표청구항 ▼

증착 원료가 저장되도록 측 방향으로 연장된 내부 공간을 가지며, 상면의 적어도 일부가 개방되는 도가니;측 방향으로 배열되는 복수의 분사구를 가지며, 상기 도가니의 개방된 상면에 결합되는 노즐 부재; 및상기 도가니의 바닥과 상기 노즐 부재 사이에 위치하도록 상기 내부 공간에 설치되는 유도 부재;를 포함하고,상기 유도 부재는,측 방향으로 연장되어 상기 내부 공간에 설치되고, 측 방향을 따라 배열된 복수의 개방부와 측 방향을 따라 이격 배치되는 복수의 가림부를 포함하는 제1 유도 부재; 및상기 복수의 개방부의 상부에 각각 배치되도록 상기

증착 원료가 저장되도록 측 방향으로 연장된 내부 공간을 가지며, 상면의 적어도 일부가 개방되는 도가니;측 방향으로 배열되는 복수의 분사구를 가지며, 상기 도가니의 개방된 상면에 결합되는 노즐 부재; 및상기 도가니의 바닥과 상기 노즐 부재 사이에 위치하도록 상기 내부 공간에 설치되는 유도 부재;를 포함하고,상기 유도 부재는,측 방향으로 연장되어 상기 내부 공간에 설치되고, 측 방향을 따라 배열된 복수의 개방부와 측 방향을 따라 이격 배치되는 복수의 가림부를 포함하는 제1 유도 부재; 및상기 복수의 개방부의 상부에 각각 배치되도록 상기 내부 공간에 설치되는 복수의 제2 유도 부재;를 포함하고,상기 복수의 개방부는,상기 복수의 가림부 사이의 이격 공간에 의해 각각 형성되어, 측 방향과 교차하는 방향에서 상기 내부 공간을 전부 노출시키며,상기 복수의 제2 유도 부재는,상기 복수의 개방부를 통과하는 증착 물질을 측 방향으로 유도하기 위하여, 상기 복수의 개방부와 각각 중첩되도록 이격 배치되고, 각각이 중첩되는 개방부 이상의 면적을 가지는 복수의 차단부; 및상기 복수의 개방부를 통과하는 증착 물질을 상측으로 공급하기 위하여, 상기 복수의 차단부에 각각 마련되는 적어도 하나의 관통구;를 포함하는 증발원.