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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0017401 (2021-02-08) | |
공개번호 | 10-2022-0115653 (2022-08-18) | |
등록번호 | 10-2509629-0000 (2023-03-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210017401 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-02-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 개시한다. 개시된 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 고주파를 발진하여 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛과, 유도가열 유닛을 단열하도록 유도가열 유닛을 수용하며, 냉각을 위한 냉각수가 순환하는 단열하우징 유닛과, 유도가열 유닛을 절연 지지하도록 단열하우징 유닛에 구비되는 절연 지지대를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛의 절연 상태를 안정적으로 유지할 수 있으며, 크루시블의 단열효과를 향상시킬 수 있고, 단열하우징 유닛의 냉각 효과가 향상된다
고주파를 발진하여 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛; 상기 유도가열 유닛을 단열하도록 상기 유도가열 유닛을 수용하며, 냉각을 위한 냉각수가 순환하는 단열하우징 유닛; 및 상기 유도가열 유닛을 절연 지지하도록 상기 단열하우징 유닛에 구비되는 절연 지지대;를 포함하며,상기 유도가열 유닛은, 상기 크루시블을 가열하는 유도 코일부; 및 상기 유도 코일부에 연결되는 코일접속 단자부;를 포함하며,상기 절연 지지대는, 상기 단열하우징 유닛에 결합되어 상기 유도 코일부를 이격되게 지지하고, 상기 코일접속 단자부를 절연하고,상기 절연 지지대는, 상
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