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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0188332 (2020-12-30) | |
공개번호 | 10-2022-0096139 (2022-07-07) | |
등록번호 | 10-2506553-0000 (2023-02-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200188332 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 증발원 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착 물질을 균일하게 공급할 수 있는 증발원 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.본 발명의 실시 예에 따른 증발원은 증착 원료가 저장되도록 측 방향으로 연장된 내부 공간을 가지며, 상면의 적어도 일부가 개방되는 도가니; 측 방향으로 배열되는 복수의 분사구를 가지며, 상기 도가니의 개방된 상면에 결합되는 노즐 부재; 및 상기 도가니의 바닥과 상기 노즐 부재 사이에 위치하도록 상기 내부 공간에 설치되는 유도 부재;를 포함하고, 상기 유도
증착 원료가 저장되도록 측 방향으로 연장된 내부 공간을 가지며, 상면의 적어도 일부가 개방되는 도가니;측 방향으로 배열되는 복수의 분사구를 가지며, 상기 도가니의 개방된 상면에 결합되는 노즐 부재; 및상기 도가니의 바닥과 상기 노즐 부재 사이에 위치하도록 상기 내부 공간에 설치되는 유도 부재;를 포함하고,상기 유도 부재는,측 방향으로 연장되어 상기 내부 공간에 설치되고, 측 방향을 따라 배열된 복수의 개방부와 측 방향을 따라 이격 배치되는 복수의 가림부를 포함하는 제1 유도 부재; 및상기 복수의 개방부의 상부에 각각 배치되도록 상기
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