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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7006347 (2020-03-03) | |
공개번호 | 10-2020-0056986 (2020-05-25) | |
등록번호 | 10-2559436-0000 (2023-07-20) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-189720 (2017-09-29) | |
국제출원번호 | PCT/JP2018/033773 (2018-09-12) | |
국제공개번호 | WO 2019/065233 (2019-04-04) | |
번역문제출일자 | 2020-03-03 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207006347 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-09-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
웨이퍼의 면내의 에칭이 불균일하게 되어 버리는 것을 경감한다. 정전 척 장치는, 시료를 재치하는 시료 재치면을 가짐과 함께 정전 흡착용 제1 전극을 갖는 정전 척부와, 정전 척부에 대하여 시료 재치면과는 반대측에 재치되어 정전 척부를 냉각하는 냉각 베이스부와, 정전 척부와 냉각 베이스부를 접착하는 접착층을 구비하고, 냉각 베이스부는, RF 전극인 제2 전극의 기능을 갖고 있으며, 정전 척부와 냉각 베이스부와의 사이에, RF 전극 혹은 LC 조정용 제3 전극을 갖고 있고, 제3 전극은, 정전 척부 및 냉각 베이스부와 접착되고, 냉각
시료를 재치하는 시료 재치면을 가짐과 함께 정전 흡착용 제1 전극을 갖는 정전 척부와,상기 정전 척부에 대하여 상기 시료 재치면과는 반대측에 재치되어 상기 정전 척부를 냉각하는 냉각 베이스부와,상기 정전 척부와 상기 냉각 베이스부를 접착하는 접착층을 구비하며,상기 냉각 베이스부는, RF 전극인 제2 전극의 기능을 갖고 있고,상기 정전 척부와 상기 냉각 베이스부와의 사이에, RF 전극 혹은 LC 조정용 제3 전극을 갖고 있으며, 상기 제3 전극은, 상기 정전 척부 및 상기 냉각 베이스부와 접착되고, 상기 냉각 베이스부와는 절연되어 있
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