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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7022275 (2020-07-31) | |
공개번호 | 10-2020-0102502 (2020-08-31) | |
등록번호 | 10-2500452-0000 (2023-02-13) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-060516 (2018-03-27) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/008082 (2019-03-01) | |
국제공개번호 | WO 2019/187977 (2019-10-03) | |
번역문제출일자 | 2020-07-31 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207022275 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-07-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
CMP에 적용한 경우, 피연마면의 결함이 발생하기 어렵고, 질화 규소에 대하여 산화 규소를 보다 선택적으로 연마할 수 있는 연마액, 및 피연마면의 결함이 발생하기 어렵고, 질화 규소의 연마 속도와 산화 규소의 연마 속도가 모두 높은 연마액을 제공한다. 또, 상기 연마액을 사용한 화학적 기계적 연마 방법을 제공한다. 화학적 기계적 연마에 이용되는 연마액으로서, 평균 애스펙트비가 1.5 이상인 세리아 입자와, 음이온계 폴리머 또는 양이온계 폴리머를 포함하며, pH가 3~8인, 연마액에 관한 것이다. 단, 상기 연마액이 상기 음이온계 폴
화학적 기계적 연마에 이용되는 연마액으로서,평균 애스펙트비가 1.5 이상인 세리아 입자와,음이온계 폴리머 또는 양이온계 폴리머를 포함하며,pH가 3~8이고, 상기 세리아 입자는, 그 표면의 적어도 일 영역에 알칼리 토류 금속 원자를 포함하는, 연마액,단, 상기 연마액이 상기 음이온계 폴리머를 포함하는 경우, 상기 연마액은, 카복실산기, 인산기, 포스폰산기, 및 설폰산기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 기를 포함하는, 무기산 또는 유기산을 더 포함한다.
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