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연합인증

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온도 측정 센서, 온도 측정 시스템, 및 온도 측정 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01K-011/32
  • G01J-005/08
  • G01K-011/324
출원번호 10-2020-7025059 (2020-08-31)
공개번호 10-2021-0029136 (2021-03-15)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2018-132459 (2018-07-12)
국제출원번호 PCT/JP2019/027599 (2019-07-11)
국제공개번호 WO 2020/013299 (2020-01-16)
번역문제출일자 2020-08-31
DOI http://doi.org/10.8080/1020207025059
발명자 / 주소
  • 우 통 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
  • 미나미 도모히데 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
  • 미야가와 마사아키 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
  • 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인태평양
법적상태 공개

초록

예시적 실시형태에 관한 온도 측정 센서는, 기판과, 기판의 상면에 마련되어 있으며 상면을 따라 뻗어 있는 광파이버를 구비한다. 온도 측정 센서는, 상면의 위의 공간과 기판의 하면의 아래의 공간을 연통하는 공간의 광 도입로와, 상면에 마련되며 광 도입로에 배치된 광 결합부를 더 구비한다. 광 결합부는, 광파이버의 단면과 광학적으로 접속된다. 광파이버는, 제1 패턴 형상 및 제2 패턴 형상을 구성한다. 제1 패턴 형상은, 제2 패턴 형상보다 광파이버를 조밀하게 포함한다. 광 도입로를 통하여 하면 측으로부터 광 결합부에 입사하는 광은,

대표청구항

기판과,상기 기판의 상면에 마련되어 있으며 상기 상면을 따라 뻗어 있는 광파이버와,상기 상면의 위의 공간과 상기 기판의 하면의 아래의 공간을 연통하는 공간의 광 도입로와,상기 상면에 마련되며 상기 광 도입로에 배치된 광 결합부를 구비하고,상기 광 결합부는, 상기 광파이버의 단면과 광학적으로 접속되며,상기 광파이버는, 제1 패턴 형상 및 제2 패턴 형상을 구성하고,상기 제1 패턴 형상은, 상기 제2 패턴 형상보다 상기 광파이버를 조밀하게 포함하며,상기 광 도입로를 통하여 상기 하면 측으로부터 상기 광 결합부에 입사하는 광은, 상기 광

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