[특허]정전 척들을 위한 보호 코팅

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 B23Q-003/15 H02N-013/00
출원번호	10-2020-7030025 (2020-10-19)
공개번호	10-2020-0124316 (2020-11-02)
우선권정보	미국(US) 15/926,349 (2018-03-20)
국제출원번호	PCT/US2019/022046 (2019-03-13)
국제공개번호	WO 2019/182833 (2019-09-26)
번역문제출일자	2020-10-19
DOI	http://doi.org/10.8080/1020207030025
발명자 / 주소	토핑, 스티븐 / 미국, *** 오리건, 포틀랜드, 노스 마리랜드 애비뉴 부르카르트, 빈센트 / 미국, * 캘리포니아, 쿠퍼티노, 사우스 탄타우 애비뉴 ***
출원인 / 주소	램 리써치 코포레이션 / 미국 *** 캘리포니아주 프레몬트 쿠싱 파크웨이 **
대리인 / 주소	특허법인인벤싱크
법적상태	공개

초록

정전 척 (ESC) 이 실리콘 옥사이드 (SiO2), 실리콘 나이트라이드 (Si3N4) 또는 둘의 조합의 코팅으로 커버된 적어도 일부를 갖는 척킹 표면을 포함한다.코팅은 기판 프로세싱 툴의 프로세싱 챔버에 인 시츄로 도포될 수 있고, 프레시 코팅을 생성하기 위해 주기적으로 제거되고 인 시츄로 재도포될 수 있다.

대표청구항

기판을 척킹하도록 구성된 척킹 표면을 갖는 페데스탈을 포함하는 정전 척 (ElectroStatic Chuck; ESC) 에 있어서, 상기 척킹 표면의 적어도 일부는 실리콘 옥사이드 또는 실리콘 나이트라이드의 코팅을 갖는, 정전 척.

이 특허에 인용된 특허 (2)

[일본] ELECTROSTATIC CHUCK | NAGAYAMA TSUTOMU
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[한국] 플라즈마 강화 화학 기상 증착 시스템에서 높은 온도들로 압축 또는 인장 응력을 갖는 웨이퍼들을 프로세싱하는 방법 및 장치 | 예, 청 존, 핀슨, 제이 디., 2세, 하나와, 히로지, 조우, 지안후아, 린, 싱, 두안, 렌-관, 리, 광덕 더글라스, 김, 복 헌, 베헤라, 스와얌브후 피., 하, 성원, 발라수브라마니안, 가네쉬, 로차-알바레즈, 주안 카를로스, 쿨쉬레쉬타, 프라산트 쿠마르, 포스터, 제이슨 케이., 스리니바산, 무쿤드, 할러, 우베 피., 폰네칸티, 하리 케이.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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