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연합인증

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기판 접합 장치 및 기판 접합 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
  • B23K-037/04
  • H01L-021/66
  • H01L-021/68
  • H01L-023/00
  • H01L-023/544
출원번호 10-2020-7031762 (2020-11-03)
공개번호 10-2020-0128205 (2020-11-11)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2012-074232 (2012-03-28)
국제출원번호 PCT/JP2013/001813 (2013-03-15)
국제공개번호 WO 2013/145622 (2013-10-03)
번역문제출일자 2020-11-03
DOI http://doi.org/10.8080/1020207031762
발명자 / 주소
  • 오카모토 가즈야 / 일본 도쿄도 지요다쿠 유라쿠쵸 *쵸메 **방 *고 가부시키가이샤 니콘 내
  • 스가야 이사오 / 일본 도쿄도 지요다쿠 유라쿠쵸 *쵸메 **방 *고 가부시키가이샤 니콘 내
  • 구라타 나오히코 / 일본 도쿄도 지요다쿠 유라쿠쵸 *쵸메 **방 *고 가부시키가이샤 니콘 내
  • 오카다 마사시 / 일본 도쿄도 지요다쿠 유라쿠쵸 *쵸메 **방 *고 가부시키가이샤 니콘 내
  • 미츠이시 하지메 / 일본 도쿄도 지요다쿠 유라쿠쵸 *쵸메 **방 *고 가부시키가이샤 니콘 내
출원인 / 주소
  • 가부시키가이샤 니콘 / 일본국 도쿄도 미나토쿠 고난 *쵸메 **반 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인태평양
심사청구여부 있음 (2020-11-03)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

기판 접합 장치로서, 제1 기판과 제2 기판을 서로 접합시키는 기판 접합 장치로서, 서로 위치 맞춤하여 서로 겹쳐진 제1 기판과 제2 기판을 서로 접합하는 접합부와, 접합부에 의한 접합 전에, 제1 기판 및 제2 기판 중 적어도 일방의 요철 상태를 검출하는 검출부와, 검출부에 의해 검출된 요철 상태가 소정의 조건을 만족하는지 아닌지를 판단하는 판단부를 구비하며, 접합부는, 요철 상태가 소정의 조건을 만족하지 않는다고 판단부에 의해 판단된 경우, 제1 기판 및 제2 기판의 접합을 행하지 않는다.

대표청구항

제1 기판과 제2 기판을 서로 접합시키는 기판 접합 장치로서,서로 위치 맞춤된 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 서로 접합하는 접합부와,접합 전 공정에서 검출된 정보 또는 전기적 검출 방법에 의해 얻어진 정보를 이용하여, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합할지 여부를 판단하는 판단부를 구비하는 기판 접합 장치.

발명자의 다른 특허 :

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  1. [한국] 프레스 장치 | 하시즈메 고지, 미야지마 요시마사, 하타노 노리히코, 가도와키 데츠지
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  7. [일본] METHOD OF DETECTING DEFECT IN LAMINATING WAFER | OKABE HIDEMITSU, YOSHIMUTA MASAO
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  8. [일본] SUBSTRATE HOLDING MEMBER AND BONDING APPARATUS | SUGAYA ISAO
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  9. [일본] SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE AND SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL METHOD | ISHIDA MASAHIKO, MORIMOTO NAOKI, SOGABE KOJI
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