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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-7022549 (2019-07-31) | |
공개번호 | 10-2019-0101440 (2019-08-30) | |
등록번호 | 10-2223849-0000 (2021-02-26) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-195211 (2017-10-05) | |
국제출원번호 | PCT/JP2018/037229 (2018-10-04) | |
국제공개번호 | WO 2019/070031 (2019-04-11) | |
번역문제출일자 | 2019-07-31 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197022549 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-07-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 스퍼터링 장치는, 챔버 내에서 스퍼터링에 의해 성막하는 기판에 대해서, 대략 수직 유지된 마스크 프레임을 교환 가능하게 하는 마스크 교환수단을 갖는다. 마스크 교환수단은, 복수의 마스크 프레임을 면 평행 상태로 복수 스톡 가능하게 하는 밀폐 가능한 스톡실과, 복수 스톡된 마스크 프레임을 챔버 내의 성막 위치가 되는 마스크실까지 반송하는 반송 수단을 갖는다. 스톡실에는, 마스크 프레임의 마스크면과 대략 직교 방향으로 전후 이동 가능하게 하는 스톡 지지부와, 스톡 지지부에 스톡된 마스크 프레임으로부터 선택하여 면 방향으로 구
스퍼터링 장치로서,챔버 내에서 스퍼터링에 의해 성막하는 기판에 대해서, 수직 유지된 마스크 프레임을 교환 가능하게 하는 마스크 교환수단을 갖고,상기 마스크 교환수단이,복수의 상기 마스크 프레임을 상기 마스크 프레임의 면끼리가 평행한 상태로 복수 스톡 가능하게 하는 밀폐 가능한 스톡실과,복수 스톡된 상기 마스크 프레임으로부터 선택된 한 장의 마스크 프레임을 상기 챔버 내의 성막 위치가 되는 마스크실까지 반송하는 반송 수단,을 갖고,상기 스톡실에는,복수의 상기 마스크 프레임을 상기 마스크 프레임의 상기 면끼리가 평행한 상태로 복수 지지
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