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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0001360 (2021-01-06) | |
등록번호 | 10-2224835-0000 (2021-03-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210001360 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-01-06) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 실시 예는 광학 프리즘 및 이를 이용한 암시야 조명계에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 결함 검사 분야에 적용 가능한 광학 프리즘 및 이를 이용한 암시야 조명계를 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 입사광을 굴절시키는 다수의 광학적 평면을 포함하되, 상기 광학적 평면은: 입사광을 굴절시켜 적어도 제1,2,3광으로 나누는 제1광학적 평면; 상기 제1광학적 평면과 예각을 이루며, 상기 제1광을 굴절시켜 관측 대상으로 출사시키고, 상기 제2광을 전반사시키는 제2광학적 평면; 상기 제2광학적 평면과 둔각을 이루며
입사광을 굴절시키는 다수의 광학적 평면을 포함하되, 상기 광학적 평면은:입사광을 굴절시켜 적어도 제1,2,3광으로 나누는 제1광학적 평면;상기 제1광학적 평면과 예각을 이루며, 상기 제1광을 굴절시켜 관측 대상으로 출사시키고, 상기 제2광을 전반사시키는 제2광학적 평면;상기 제2광학적 평면과 둔각을 이루며, 상기 제3광을 굴절시켜 관측 대상으로 출사시키는 제3광학적 평면; 및상기 제3광학적 평면과 예각을 이루며, 상기 제2광학적 평면에 의해 전반사된 상기 제2광을 전반사시켜 상기 제3광학적 평면을 통해 굴절되어 관측 대상으로 출사되
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