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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2021-0129189 (2021-09-29) | |
| 공개번호 | 10-2022-0154000 (2022-11-21) | |
| 우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210061420 (2021-05-12) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020210129189 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-09-29) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 공개 |
본 발명의 일 실시예에 따른 위치 선택형 가변 광원 제어 시스템은 검사시료 맵 내의 적어도 하나 이상에 실장된 주요부 및 외각부의 트리거 피치를 산출하는 트리거 피치 산출부; 상기 트리거 피치를 기초로 검사시료의 주요부 및 상기 주요부의 외각부를 슬라이싱 스캔하는 검사시료 스캐너; 상기 검사시료의 슬라이싱 스캔동작 시에, 상기 주요부 및 상기 외각부에 광비율이 서로 다른 광을 조사하는 광 조사부; 및 기 설정된 스캔 시퀀스를 기초로 상기 검사시료 스캐너의 스캔동작 및 상기 광 조사부의 광 조사 동작이 동기화되도록 상기 검사시료 스캐
검사시료의 적어도 하나 이상에 실장된 주요부 및 외각부의 트리거 피치를 산출하는 트리거 피치 산출부;상기 트리거 피치를 기초로 검사시료의 주요부 및 상기 주요부의 외각부를 슬라이싱 스캔하는 검사시료 스캐너;상기 검사시료의 슬라이싱 스캔동작 시에, 상기 주요부 및 상기 외각부에 광비율이 서로 다른 광을 조사하는 광 조사부; 및기 설정된 스캔 시퀀스를 기초로 상기 검사시료 스캐너의 스캔동작 및 상기 광 조사부의 광 조사 동작이 동기화되도록 상기 검사시료 스캐너 및 광 조사부의 동작을 제어하는 동기화 제어부를 포함하는 위치 선택형 가변
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