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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0020417 (2021-02-16) | |
공개번호 | 10-2022-0116938 (2022-08-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210020417 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-02-16) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
개시되는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 장비용 대전 방지 메탈 부재가 메탈 본체와, 세라믹층과, 코팅층을 포함하고, 상기 세라믹층은 알루미나를 포함하여 이루어지고, 상기 코팅층은 실리카와 에폭시 중 적어도 하나와 카본나노튜브가 혼합된 액상의 코팅 혼합액이 상기 세라믹층 상에 분사됨으로써 형성됨으로써, 상기 세라믹층을 이루는 상기 알루미나의 표면의 공극을 상기 실리카와 상기 에폭시 중 적어도 하나와 상기 카본나노튜브가 혼합된 액상의 상기 코팅 혼합액이 채워주게 되어, 상기 실리카와 상기 에폭시 중 적어도 하나와 상기 카본나노튜브가
반도체 웨이퍼와 디스플레이 패널 중 적어도 하나를 제조하는 데에 적용되는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 장비에 적용되어 정전기 방지를 하는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 장비용 대전 방지 메탈 부재로서,대전 방지가 요구되는 금속 대상체인 메탈 본체;상기 메탈 본체 상에 형성되는 세라믹층; 및상기 세라믹층 상에 형성되어, 상기 메탈 본체에 대해 대전 방지 기능을 부여하는 코팅층;을 포함하는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 장비용 대전 방지 메탈 부재.
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