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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0058266 (2021-05-06) | |
공개번호 | 10-2022-0151259 (2022-11-15) | |
등록번호 | 10-2558203-0000 (2023-07-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210058266 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-06) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
개시되는 곡면형 라미네이팅 정전척이 베이스 스테이지와, 쿠션 시트층과, 전극층과, 외부 표면층을 포함하고, 라미네이팅 장치가 상기 곡면형 라미네이팅 정전척과, 승강 부재와, 구름 접촉 부재를 포함함에 따라, 이물질 관리가 용이해져서 미세 파티클 발생이 억제될 수 있고, 척킹 대상체를 라미네이팅시키는 구조가 간명해질 수 있게 되는 장점이 있다.
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