초록

기판 처리 중 흡착된 기판의 온도가 균일 제어되는지 여부를 테스트하기 위한 장치가 소개된다. 장치는 탑플레이트 상에 정전척이 놓이는 스테이지 및 탑플레이트 상에 설치된 제1 및 제2 가이드를 따라 승강 가능한 챔버 하우징을 구비한다. 스테이지와 챔버 하우징에 의해 챔버가 규정된다. 챔버 하우징 내에는 승강 가능하게 히터가 마련된다. 정전척에 의해 기판이 흡착되며, 기판 상의 복수 위치에 온도센서가 배치된다. 이 온도센서에 의해 측정된 온도값은 제어부로 송출되어, 히터에 의해 가열된 기판의 온도 분포가 분석된다.

대표청구항 ▼

정전척이 놓이는 스테이지, 여기서 정전척 둘레에 하부 링이 배치됨;상기 스테이지가 장착되는 탑플레이트를 구비하는 프레임;상기 정전척을 사이에 두고 서로 마주보도록 탑플레이트 상에 설치된 제1 및 제2 가이드;상기 제1 및 제2 가이드를 따라 승강 가능하게 설치되고, 탑면과 둘레면을 갖는 챔버 하우징, 여기서 챔버 하우징이 하강하여 둘레면의 하단이 하부 링에 밀착됨에 의해 스테이지와 챔버 하우징에 의해 규정되는 밀폐된 챔버가 제공됨;상기 탑면에 수직하게 배치된 로드 및 로드의 하부에 마련된 히터를 구비하는 히터 어셈블리, 여기서 탑면

정전척이 놓이는 스테이지, 여기서 정전척 둘레에 하부 링이 배치됨;상기 스테이지가 장착되는 탑플레이트를 구비하는 프레임;상기 정전척을 사이에 두고 서로 마주보도록 탑플레이트 상에 설치된 제1 및 제2 가이드;상기 제1 및 제2 가이드를 따라 승강 가능하게 설치되고, 탑면과 둘레면을 갖는 챔버 하우징, 여기서 챔버 하우징이 하강하여 둘레면의 하단이 하부 링에 밀착됨에 의해 스테이지와 챔버 하우징에 의해 규정되는 밀폐된 챔버가 제공됨;상기 탑면에 수직하게 배치된 로드 및 로드의 하부에 마련된 히터를 구비하는 히터 어셈블리, 여기서 탑면에는 로드를 사이에 두고 서로 마주보게 배치된 제3 및 제4 가이드가 마련되며, 히터 어셈블리는 제3 및 제4 가이드를 따라 승강 가능하게 설치됨; 및상기 정전척 상에 로딩되며, 복수 위치에 제1 온도센서가 배치된 기판을 포함하는 정전척 테스트 장치.