초록

마이크로기계 및 반도체 처리를 위해 작업물 캐리어들 상에 사용될 수 있는 정전 척킹 힘 툴이 설명된다.일 예는, 정전 척에 의한 정전 척킹 힘에 의해 파지될 때 작업물을 유지하기 위한 작업물 피팅부, 작업물 피팅부를 통해 작업물을 척에 걸쳐 측방향으로 당기기 위해 작업물 피팅부에 결합된 암, 및 작업물을 이동시키기 위해 작업물 피팅부가 암에 의해 당겨지는 힘의 양을 측정하기 위해 암에 결합된 힘 게이지를 포함한다.

대표청구항

정전 척킹 힘 측정 툴로서,정전 척에 의한 정전 척킹 힘에 의해 파지될 때 작업물을 유지하기 위한 작업물 피팅부;상기 작업물을 상기 작업물 피팅부를 통해 상기 척에 걸쳐 측방향으로 당기기 위해 상기 작업물 피팅부에 결합된 암; 및상기 작업물을 이동시키기 위해 상기 작업물 피팅부가 상기 암에 의해 당겨지는 힘의 양을 측정하기 위해 상기 암에 결합된 힘 게이지를 포함하는, 정전 척킹 힘 측정 툴.

정전 척킹 힘 측정 툴로서,정전 척에 의한 정전 척킹 힘에 의해 파지될 때 작업물을 유지하기 위한 작업물 피팅부;상기 작업물을 상기 작업물 피팅부를 통해 상기 척에 걸쳐 측방향으로 당기기 위해 상기 작업물 피팅부에 결합된 암; 및상기 작업물을 이동시키기 위해 상기 작업물 피팅부가 상기 암에 의해 당겨지는 힘의 양을 측정하기 위해 상기 암에 결합된 힘 게이지를 포함하는, 정전 척킹 힘 측정 툴.