[특허]측정 방법 및 측정 지그

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G01R-027/26 G01R-031/28 H01L-021/683
출원번호	10-2019-0174637 (2019-12-26)
공개번호	10-2020-0083278 (2020-07-08)
우선권정보	일본(JP) JP-P-2018-248274 (2018-12-28)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190174637
발명자 / 주소	가시무라 류세이 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐스 * 도쿄엘렉트론미야기가부시키가이샤 내 사토 마사노리 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐스 * 도쿄엘렉트론미야기가부시키가이샤 내 츠나모토 데츠 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐스 * 도쿄엘렉트론미야기가부시키가이샤 내
출원인 / 주소	도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 쵸메 반 *고
대리인 / 주소	제일특허법인(유)
법적상태	공개

초록

[과제] 정전척의 정전 용량을 측정하는 새로운 수법을 제공한다.[해결 수단] 그라운드에 접속되는 기판을 접촉시킨 정전척 내의 전극에 단자를 접촉시키는 공정과, 상기 단자, 상기 정전척 및 상기 기판을 고정하는 공정과, 상기 단자에 접속된 전류계및 전압계에 의해 전류치 및 전압치를 측정하는 공정과, 측정한 상기 전류치 및 상기 전압치에 근거하여, 상기 전류치의 기울기 및/또는 상기 전류치의 피크시의 값으로부터 상기 단자와 상기 전극의 도통을 판정하는 공정을 가지는 측정 방법이 제공된다.

대표청구항

그라운드에 접속되는 기판을 접촉시킨 정전척 내의 전극에 단자를 접촉시키는 공정과,상기 단자, 상기 정전척 및 상기 기판을 고정하는 공정과,상기 단자에 접속된 전류계 및 전압계에 의해 전류치 및 전압치를 측정하는 공정과, 측정한 상기 전류치 및 상기 전압치에 근거하여, 상기 전류치의 기울기 및/또는 상기 전류치의 피크시의 값으로부터 상기 단자와 상기 전극의 도통을 판정하는 공정을 가지는 측정 방법.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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