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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0037698 (2021-03-24) | |
등록번호 | 10-2404049-0000 (2022-05-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210037698 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-03-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 질화물 기반의 멤스 미러 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 물리적인 힘의 사용 없이 구동 전극과 고정 전극 간에 단차를 형성하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 멤스 미러용 정전 구동기는 제1 콤 전극층과 제2 콤 전극층을 포함한다. 제1 콤 전극층은 제1 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극을 구비한다. 그리고 제2 콤 전극층은 제2 질화물계 반도체 소재로 형성되며, 제1 콤 전극층의 상부에 적층되며, 복수의 제1 콤 전극의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤
제1 질화물계 반도체 소재로만 형성되는 제1 콤 전극층으로, 적어도 일측의 외측면을 따라서 배열된 복수의 제1 콤 전극을 구비하는 상기 제1 콤 전극층; 및제2 질화물계 반도체 소재로만 형성되는 제2 콤 전극층으로, 상기 제1 콤 전극층의 상부에 적층되며, 상기 복수의 제1 콤 전극의 상부에 교번되게 형성되는 복수의 제2 콤 전극을 구비하는 상기 제2 콤 전극층;을 포함하는 멤스 미러용 정전 구동기.
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