[특허]극자외선 리소그래피용 위상반전 블랭크마스크 및 포토마스크

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-001/24 G03F-001/26
출원번호	10-2021-0053875 (2021-04-26)
공개번호	10-2022-0108686 (2022-08-03)
우선권정보	대한민국(KR) 1020210011135 (2021-01-27)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020210053875
발명자 / 주소	양철규 / 대구광역시 달서구 호산동로 (호림동) 이종화 / 대구광역시 달서구 호산동로 (호림동) 신철 / 대구광역시 달서구 호산동로 ** (호림동)
출원인 / 주소	주식회사 에스앤에스텍 / 대구광역시 달서구 호산동로 ** (호림동)
대리인 / 주소	허성원; 이동욱; 서동헌
법적상태	공개

초록

EUV 용 블랭크마스크는 기판 상에 형성된 반사막 및 반사막 상에 형성된 위상반전막을 구비한다.위상반전막은 루테늄(Ru) 및 크롬(Cr)을 포함하는 물질로 형성된다.위상반전막은 3~30% 의 상대반사율을 가지고, 170~220°의 위상반전량을 가지며, 0.5nmRMS 이하의 표면 거칠기를 갖는다.이러한 블랭크마스크를 이용하여 제작된 포토마스크를 이용하여, 최종적으로 7nm 이하의 패턴 제작 시 우수한 해상도(Resolution)을 얻을 수 있다.

대표청구항

기판;상기 기판 상에 형성된 반사막; 및상기 반사막 상에 형성된 위상반전막;을 포함하며,상기 위상반전막은 루테늄(Ru) 및 크롬(Cr)을 포함하는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 극자외선 리소그래피용 블랭크마스크.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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