초록 ▼

본 발명은 침강방지첨가제를 활용한 실리콘웨이퍼 절단용 절삭유 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 침강방지첨가제가 첨가된 절삭유제 제조에 있어서 고온환경에서의 색변화, 동점도, 분리안정성을 포함하는 특정 검사 항목에 부합하도록 제조되었고, 분리안정성에도 특정 투입량에 따라 침강방지의 효과가 있으며, 실리콘 웨이퍼 절삭유에 침강방지첨가제 및 습윤, 분산향상첨가제를 혼용하여 사용하였을 때, 연마재(Abrasive)의 분리안정성이 우수하고, 침강방지첨가제와 습윤, 분산향상첨가제의 유기적인 상호 작용에 의해 침강과 습윤, 분산작용을 극

본 발명은 침강방지첨가제를 활용한 실리콘웨이퍼 절단용 절삭유 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 침강방지첨가제가 첨가된 절삭유제 제조에 있어서 고온환경에서의 색변화, 동점도, 분리안정성을 포함하는 특정 검사 항목에 부합하도록 제조되었고, 분리안정성에도 특정 투입량에 따라 침강방지의 효과가 있으며, 실리콘 웨이퍼 절삭유에 침강방지첨가제 및 습윤, 분산향상첨가제를 혼용하여 사용하였을 때, 연마재(Abrasive)의 분리안정성이 우수하고, 침강방지첨가제와 습윤, 분산향상첨가제의 유기적인 상호 작용에 의해 침강과 습윤, 분산작용을 극대화함으로서 정전기적 반발력이나 입체장애효과, 연마재(Abrasive) 의 재응집을 막아주는 침강방지첨가제를 활용한 실리콘웨이퍼 절단용 절삭유 제조방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

두가지 이상의 기유를 혼합하는 기유혼합단계;기유혼합단계를 수행한 혼합 기유의 일부를 반응기에 투입한 뒤, 스테아릭산 투입하고 교반하여 산이 용해되도록하는 제1 용해단계;제1 용해단계에서의 반응기와 다른 반응기에 벤조익산(Benzoic Acid)을 메탄올에 용해하는 제2 용해단계;제2 용해단계를 수행한 용해물에 제2 용해단계를 수행한 용해물을 투입하고, 점진적으로 승온하여 알루미늄 이소프로필레이트(AIP:Aluminum Isopropylate)를 투입하여 가열하는 제1 가열단계;제1 가열단계를 수행한 용해물이 알루미늄 이소프로폭시드(

두가지 이상의 기유를 혼합하는 기유혼합단계;기유혼합단계를 수행한 혼합 기유의 일부를 반응기에 투입한 뒤, 스테아릭산 투입하고 교반하여 산이 용해되도록하는 제1 용해단계;제1 용해단계에서의 반응기와 다른 반응기에 벤조익산(Benzoic Acid)을 메탄올에 용해하는 제2 용해단계;제2 용해단계를 수행한 용해물에 제2 용해단계를 수행한 용해물을 투입하고, 점진적으로 승온하여 알루미늄 이소프로필레이트(AIP:Aluminum Isopropylate)를 투입하여 가열하는 제1 가열단계;제1 가열단계를 수행한 용해물이 알루미늄 이소프로폭시드(Aluminum Isopropoxide) 용해액에 첨가되고, 아이소프로판올(Isopropanol)의 방출로 유동성이 있는 특정 점도를 형성하는 제1 점도형성단계;제1 점도형성단계를 수행한 반응물의 알코올을 제거하고, 가열하는 제2 가열단계;제2 가열단계를 수행한 반응물을 공냉하여 반응하지 않고 남은 이소프로폭시드(Isopropoxide)를 중성화하여 제1 점도형성단계의 점도보다 높고, 유동성은 상향시키기 위해 일정량의 물을 첨가하는 공냉단계;공냉단계를 수행한 반응물을 승온시키며 1차 가열하고, 제1 용해단계를 수행하지 않은 남은 기유을 투입하여 승온하며 교반하여 2차 가열하는 제3 가열단계;제3 가열단계를 수행한 반응물을 실온에서 자연냉각하는 냉각단계;실리콘 웨이퍼 절삭유에 연마재(Abrasive)를 혼합하여 슬러리(Slurry)상태로 만들고, 냉각단계를 수행한 반응물인 침강방지첨가제를 혼입하여 연마재(Abrasive)의 분리 상태를 검사하는 분리안정성 검사와 색상, 동점도가 적합한지 검사를 실시하는 제1 검사단계;제1 검사단계에서 검사 결과에 이상이 없을 경우 냉각단계를 수행한 침강방지첨가제를 수득하는 침강방지첨가제 수득단계;실리콘 웨이퍼 절삭유에 연마재(Abrasive)를 혼합하여 슬러리(Slurry)상태로 만들어, 침강방지첨가제수득단계에서 수득된 침강방지첨가제와 습윤, 분산향상첨가제를 혼입하여 연마재의 분리상태를 검사하고, 색상, 동점도가 적합한지를 검사하는 제2 검사단계; 및제2 검사단계에서 검사 결과에 이상이 없을 경우 제2 검사단계를 수행한 혼합물인 절삭유제를 수득하는 절삭유제 수득단계 를 포함하는 침강방지첨가제를 활용한 실리콘웨이퍼 절단용 절삭유 제조방법.