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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0131782 (2021-10-05) | |
공개번호 | 10-2023-0020879 (2023-02-13) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210102440 (2021-08-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210131782 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
고 해상도 SEM 이미지 구현 장치 및 방법, 그리고 시스템이 제공된다. 몇몇 실시예들에 따른 고 해상도 SEM 이미지 구현 장치는, 저 해상도 SEM(Scanning Electron Microscope) 이미지를 크롭핑(cropping)하여 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 생성하는 크롭핑부, 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 업 스케일링(up scaling)하여 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지를 생성하는 업 스케일링부, 및 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지에 대해, 노이
저 해상도 SEM(Scanning Electron Microscope) 이미지를 크롭핑(cropping)하여 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 생성하는 크롭핑부;상기 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 업 스케일링(up scaling)하여 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지를 생성하는 업 스케일링부; 및상기 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지에 대해, 노이즈를 제거하여 제1 노이즈 제거 이미지와 제2 노이즈 제거 이미지를 생성하는 노이즈 제거부를 포함하는 고 해상도 SEM 이미지
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