초록 ▼

고 해상도 SEM 이미지 구현 장치 및 방법, 그리고 시스템이 제공된다. 몇몇 실시예들에 따른 고 해상도 SEM 이미지 구현 장치는, 저 해상도 SEM(Scanning Electron Microscope) 이미지를 크롭핑(cropping)하여 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 생성하는 크롭핑부, 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 업 스케일링(up scaling)하여 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지를 생성하는 업 스케일링부, 및 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지에 대해, 노이

고 해상도 SEM 이미지 구현 장치 및 방법, 그리고 시스템이 제공된다. 몇몇 실시예들에 따른 고 해상도 SEM 이미지 구현 장치는, 저 해상도 SEM(Scanning Electron Microscope) 이미지를 크롭핑(cropping)하여 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 생성하는 크롭핑부, 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 업 스케일링(up scaling)하여 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지를 생성하는 업 스케일링부, 및 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지에 대해, 노이즈를 제거하여 제1 노이즈 제거 이미지와 제2 노이즈 제거 이미지를 생성하는 노이즈 제거부를 포함한다.

대표청구항 ▼

저 해상도 SEM(Scanning Electron Microscope) 이미지를 크롭핑(cropping)하여 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 생성하는 크롭핑부;상기 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 업 스케일링(up scaling)하여 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지를 생성하는 업 스케일링부; 및상기 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지에 대해, 노이즈를 제거하여 제1 노이즈 제거 이미지와 제2 노이즈 제거 이미지를 생성하는 노이즈 제거부를 포함하는 고 해상도 SEM 이미지

저 해상도 SEM(Scanning Electron Microscope) 이미지를 크롭핑(cropping)하여 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 생성하는 크롭핑부;상기 제1 크롭핑 이미지 및 제2 크롭핑 이미지를 업 스케일링(up scaling)하여 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지를 생성하는 업 스케일링부; 및상기 제1 업 스케일링 이미지와 제2 업 스케일링 이미지에 대해, 노이즈를 제거하여 제1 노이즈 제거 이미지와 제2 노이즈 제거 이미지를 생성하는 노이즈 제거부를 포함하는 고 해상도 SEM 이미지 구현 장치.