$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 산화막 및 질화막 선택비 제어를 위한 연마 슬러리 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09G-001/02
  • C09K-003/14
출원번호 10-2021-0157486 (2021-11-16)
공개번호 10-2023-0071369 (2023-05-23)
등록번호 10-2698510-0000 (2024-08-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210157486
발명자 / 주소
  • 이재학 / 경기도 용인시 기흥구 기흥역로**번길 **, ***동 ****호(구갈동, 기흥역 더샵)
  • 권창길 / 경기도 안성시 공도읍 공도로 ***-**, ***동 ****호(안성공도우방아이유쉘)
  • 백운규 / 서울특별시 강남구 선릉로 ***, **동 ***호(대치동, 개포*,*차 우성아파트)
  • 송태섭 / 서울특별시 종로구 경교장길 **, ***동 ***호(평동, 경희궁자이 *단지)
  • 선세호 / 서울특별시 성동구 금호산*길 **, ***동 ***호(금호동*가, 금호자이*차)
  • 이강규 / 서울특별시 성동구 살곶이*길 *, ***호(행당동)
출원인 / 주소
  • 주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제*공단*길 **, *공장
  • 한양대학교 산학협력단 / 서울특별시 성동구 왕십리로 ***(행당동, 한양대학교내)
대리인 / 주소
  • 특허법인 무한
심사청구여부 있음 (2021-11-16)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 산화막 및 질화막 선택비 제어를 위한 연마 슬러리 조성물에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 산화막 및 질화막 선택비 제어를 위한 연마 슬러리 조성물은, 연마입자를 포함하는 연마액; 및 비이온성 고분자, 선택비 향상제, 질화막 연마 가속제 및 pH 조절제를 포함하는 첨가액;을 포함한다.

대표청구항

연마입자를 포함하는 연마액; 및비이온성 고분자, 선택비 향상제, 질화막 연마 가속제 및 pH 조절제를 포함하는 첨가액;을 포함하고,상기 선택비 향상제는 피리딘계 화합물을 포함하는 것이고,상기 질화막 연마 가속제는 암모늄염을 포함하는 것인,산화막 및 질화막 선택비 제어를 위한 연마 슬러리 조성물.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물 | 권장국, 이성표, 최낙현, 정기화
    상세보기
  2. [한국] 연마용 슬러리 조성물 및 그 제조 방법 | 이용화
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로