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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0171067 (2021-12-02) | |
공개번호 | 10-2023-0083017 (2023-06-09) | |
등록번호 | 10-2665131-0000 (2024-05-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210171067 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-12-02) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 시료 도입부; 상기 시료 도입부와 연결되며, 상기 시료 도입부로부터 도입된 시료를 이온화시키도록 구성되는 이온화부; 상기 이온화부에 인접하는 추출 렌즈 및 상기 추출 렌즈로부터 추출된 이온 빔을 가이딩하도록 구성되는 가이딩 렌즈를 포함하는 이온 렌즈부; 상기 이온화부 및 상기 이온 렌즈부 사이의 인터페이스부; 및 상기 이온 빔을 검출하도록 구성되는 검출부를 포함하되, 상기 추출 렌즈는 상기 인터페이스부에 인접하고, 제1 방향으로 연장되는 제1 축을 중심축으로 가지는 제1 추출 렌즈, 및 상기 제1 추출 렌즈와 상기 가이딩
시료 도입부;상기 시료 도입부와 연결되며, 상기 시료 도입부로부터 도입된 시료를 이온화시키도록 구성되는 이온화부;상기 이온화부에 인접하는 추출 렌즈 및 상기 추출 렌즈로부터 추출된 이온 빔을 가이딩하도록 구성되는 가이딩 렌즈를 포함하는 이온 렌즈부;상기 이온화부 및 상기 이온 렌즈부 사이의 인터페이스부; 및상기 이온 빔을 검출하도록 구성되는 검출부를 포함하되,상기 추출 렌즈는 상기 인터페이스부에 인접하고, 제1 방향으로 연장되는 제1 축을 중심축으로 가지는 제1 추출 렌즈, 및 상기 제1 추출 렌즈와 상기 가이딩 렌즈 사이에 위치하
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