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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 20-1999-0030708 (1999-12-31) |
등록번호 | 20-0183869-0000 (2000-03-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019990030708 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 플라즈마를 이용한 전자파 차폐 자동코팅 장치에 관한 것이다.개시한 본 고안은, 진공챔버 내에 설치되어 음극전압을 입력받는 적어도 두 개 이상의 캐소우드와, 상기 캐소우드에 결합되어 상기 음극전압의 인가에 따라 금속이온을 방출하는 적어도 두 개 이상의 타겟과, 사출물이 재취되어 상기 타겟들의 주위를 회전하는 회전판을 구비한 장치에 있어서: (1) 상기 캐소우드에 결합된 타겟들중, 상기 어느 하나의 타겟은 은(Ag), 동(Cu), 알미늄(Al) 중에서 어느 하나의 물질로 이루어져 금속이온을 상기 사출물의 표면으로 방출·가속
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