초록 ▼

폴리(아릴렌 에테르); 화학식 14의 첨가제:[화학식 14]D-(L1-Ar-[X]n)m; 및용매를 포함하며, 화학식 14에서, D는 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기이며, 선택적으로 D는 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기의 유기 산 염이고; 각각의 L1은 독립적으로 단일 결합 또는 2가 연결기이고, L1이 단일 결합인 경우, D는 Ar과 선택적으로 융합된 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬 또는 치환 또는 비치환된 C1-20 헤테로시클로알킬일 수 있고, 각각의 Ar은 독립적으로 단환식 또는 다환식 C5-60 방향족

폴리(아릴렌 에테르); 화학식 14의 첨가제:[화학식 14]D-(L1-Ar-[X]n)m; 및용매를 포함하며, 화학식 14에서, D는 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기이며, 선택적으로 D는 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기의 유기 산 염이고; 각각의 L1은 독립적으로 단일 결합 또는 2가 연결기이고, L1이 단일 결합인 경우, D는 Ar과 선택적으로 융합된 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬 또는 치환 또는 비치환된 C1-20 헤테로시클로알킬일 수 있고, 각각의 Ar은 독립적으로 단환식 또는 다환식 C5-60 방향족 기이고, 각각의 X는 독립적으로 -OR30, -SR31, 또는 -NR32R33이고, m은 1 내지 6의 정수이고, 각각의 n은 독립적으로 0 내지 5의 정수이되, 단, 모든 n의 합은 2 이상이고, R30 내지 R33은 본원에 제공된 바와 같은, 포토레지스트 하층 조성물.

대표청구항 ▼

2개 이상의 시클로펜타디에논 모이어티를 함유하는 화합물로부터 유도된 폴리(아릴렌 에테르);하기 화학식 14의 첨가제; 및용매;를 포함하는,포토레지스트 하층 조성물:[화학식 14]D-(L1-Ar-[X]n)m상기 화학식 14에서,D는 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기이며, 선택적으로 D는 상기 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기의 유기 산 염이고;각각의 L1은 독립적으로 단일 결합 또는 2가 연결기이고;L1이 단일 결합인 경우, D는 Ar과 선택적으로 융합된 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬 또는 치환 또는 비치환된 C

2개 이상의 시클로펜타디에논 모이어티를 함유하는 화합물로부터 유도된 폴리(아릴렌 에테르);하기 화학식 14의 첨가제; 및용매;를 포함하는,포토레지스트 하층 조성물:[화학식 14]D-(L1-Ar-[X]n)m상기 화학식 14에서,D는 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기이며, 선택적으로 D는 상기 치환 또는 비치환된 C1-60 유기 기의 유기 산 염이고;각각의 L1은 독립적으로 단일 결합 또는 2가 연결기이고;L1이 단일 결합인 경우, D는 Ar과 선택적으로 융합된 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬 또는 치환 또는 비치환된 C1-20 헤테로시클로알킬일 수 있고, 각각의 Ar은 독립적으로 단환식 또는 다환식 C5-60 방향족 기이고,각각의 X는 독립적으로 -OR30, -SR31, 또는 -NR32R33이고, m은 1 내지 6의 정수이고, 각각의 n은 독립적으로 0 내지 5의 정수이되, 단, 모든 n의 합은 2 이상이고, R30 내지 R33은 각각 독립적으로 수소, 치환 또는 비치환된 C1-30 알킬, 치환 또는 비치환된 C1-30 헤테로알킬, 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C2-30 헤테로시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C2-30 알케닐, 치환 또는 비치환된 C2-30 알키닐, 치환 또는 비치환된 C6-30 아릴, 치환 또는 비치환된 C7-30 아릴알킬, 치환 또는 비치환된 C7-30 알킬아릴, 치환 또는 비치환된 C3-30 헤테로아릴, 또는 치환 또는 비치환된 C4-30 헤테로아릴알킬이며, 수소를 제외한 이들 각각은 선택적으로 그의 구조의 일부로서 치환 또는 비치환된 C1-30 알킬렌, 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬렌, 치환 또는 비치환된 C2-30 알케닐렌, 치환 또는 비치환된 C4-30 시클로알케닐렌, 치환 또는 비치환된 C2-30 알키닐렌, 치환 또는 비치환된 C1-30 헤테로시클로알킬렌, 치환 또는 비치환된 C6-30 아릴렌, 치환 또는 비치환된 C4-30 헤테로아릴렌, -O-, -C(O)-, -C(O)O-, -S-, -S(O)-, -S(O)2-, 또는 -NR34-(여기서, R34는 치환 또는 비치환된 C1-30 알킬, 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C1-20 헤테로시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C6-30 아릴, 치환 또는 비치환된 C7-30 아릴알킬, 치환 또는 비치환된 C7-30 알킬아릴, 치환 또는 비치환된 C4-30 헤테로아릴, 치환 또는 비치환된 C5-30 헤테로아릴알킬, 또는 치환 또는 비치환된 C5-30 알킬헤테로아릴임) 중 하나 이상을 추가로 포함하고,n이 2인 경우, 선택적으로 제1 기 X의 R30 내지 R33 중 어느 하나는 2가 기이고, 제2 기 X의 R30 내지 R33 중 어느 하나는 2가 기이고, 상기 제1 기 X의 상기 2가 기는 상기 제2 기 X의 상기 2가 기와 함께 고리를 형성하고, 상기 고리는 선택적으로 치환 또는 비치환된 C1-30 알킬렌, 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬렌, 치환 또는 비치환된 C2-30 알케닐렌, 치환 또는 비치환된 C4-30 시클로알케닐렌, 치환 또는 비치환된 C2-30 알키닐렌, 치환 또는 비치환된 C6-30 아릴렌, -O-, -C(O)-, -C(O)O-, -NR35-, -S-, -S(O)-, 또는 -S(O)2-(여기서, R35는 치환 또는 비치환된 C1-30 알킬, 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C1-20 헤테로시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C6-30 아릴, 치환 또는 비치환된 C7-30 아릴알킬, 치환 또는 비치환된 C7-30 알킬아릴, 치환 또는 비치환된 C4-30 헤테로아릴, 치환 또는 비치환된 C5-30 헤테로아릴알킬, 또는 치환 또는 비치환된 C5-30 알킬헤테로아릴임) 중 하나 이상을 포함하는 연결기를 추가로 포함한다.