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연합인증

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정전척용 전극패턴 형성방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/027
  • G03F-007/20
출원번호 10-2018-0005431 (2018-01-16)
공개번호 10-2019-0087080 (2019-07-24)
등록번호 10-2034570-0000 (2019-10-15)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180005431
발명자 / 주소
  • 정태환 / 경기도 화성시 동탄순환대로**길 ** (푸르지오 ****동 ****호)
출원인 / 주소
  • 주식회사 이에스티 / 경기도 화성시 동탄면 동탄산단*길 **
대리인 / 주소
  • 조영환
심사청구여부 있음 (2018-01-16)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

음각 패턴을 갖는 마스크를 이용하여 베이스 위에 도전재료를 용사코팅함에 의해 전극 패턴이 형성된다. 마스크는 베이스 상에 인쇄되며, 전극 패턴 형성 후 제거된다. 마스크는 알칼리 용액을 가압 분쇄하는 방식으로 적정한 물리력을 이용하여 습식 제거된다.

대표청구항 ▼

절연 재료로 만들어지거나 또는 절연 코팅이 된 베이스 상에 음각 패턴을 갖는 마스크를 인쇄하는 단계;마스크가 인쇄된 베이스 상에 도전재료를 용사 코팅하여 음각 패턴에 대응하는 전극 패턴을 형성하는 단계, 도전재료는 음각 패턴을 통해 베이스에 인쇄됨;마스크를 제거하는 단계; 및마스크가 제거된 부위 및 전극 패턴을 포함하여 베이스 상에 절연재료를 용사 코팅하는 단계를 포함하며,상기 마스크의 재료는,염화비닐과 비닐 아세테이트의 공중합체 수지 45~55wt%, 디아이소노닐 프탈레이트 20~30wt%, 수소 처리된 경질 정제유 10wt% 이

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