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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0191704 (2021-12-29) | |
공개번호 | 10-2023-0101532 (2023-07-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210191704 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
물류처리 시스템 및 방법을 제공한다. 물류처리 시스템은 반도체 라인내 물류이송을 위한 제1컨트롤유닛을 포함하는 제1라인설비; 상기 반도체 라인내 물류이송을 위한 제2컨트롤유닛을 포함하는 제2라인설비; 상비 반도체 라인내 물류이송을 위하여 상기 제1라인설비와 상기 제2라인설비 상호간에 직통방식으로 운행되는 하나 이상의 OHT유닛; 및 상기 제1라인설비, 상기 제2라인설비 및 상기 OHT유닛의 동작에 관련된 동작사항을 컨트롤하는 메인컨트롤유닛을 포함한다.
반도체 라인내 물류이송을 위한 제1컨트롤유닛을 포함하는 제1라인설비;상기 반도체 라인내 물류이송을 위한 제2컨트롤유닛을 포함하는 제2라인설비;상비 반도체 라인내 물류이송을 위하여 상기 제1라인설비와 상기 제2라인설비 상호간에 직통방식으로 운행되는 하나 이상의 OHT유닛; 및상기 제1라인설비, 상기 제2라인설비 및 상기 OHT유닛의 동작에 관련된 동작사항을 컨트롤하는 메인컨트롤유닛을 포함하는, 물류처리 시스템.
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