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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7002201 (2021-01-22) | |
공개번호 | 10-2021-0022113 (2021-03-02) | |
우선권정보 | 스웨덴(SE) 1850797-0 (2018-06-27) | |
국제출원번호 | PCT/EP2019/065703 (2019-06-14) | |
국제공개번호 | WO 2020/002007 (2020-01-02) | |
번역문제출일자 | 2021-01-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217002201 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
냉각체(12) 및 상기 냉각체에 착탈가능하게 체결되고 캐소드 바디(4)를 유지하도록 조정된 홀더 바디(3)를 포함하는 아크 소스 시스템으로서, 여기서 시스템은 상기 홀더 바디와 상기 냉각체의 하부(14) 사이에 배치된 멤브레인(2)을 포함하고; 상기 냉각체의 상기 하부(14)에는 적어도 하나의 냉각 유체 채널(11)이 제공되고, 상기 홀더 바디(3)에는 캐소드 바디(4) 상에 대응하는 외부 체결 장치와 결합되도록 구성된 내부 체결 장치가 제공되는 상기 아크 소스 시스템.
냉각체(12) 및 상기 냉각체에 착탈가능하게 체결되고 캐소드 바디(4)를 유지하도록 조정된 홀더 바디(3)를 포함하는 아크 소스 시스템으로서,상기 시스템은 상기 홀더 바디와 상기 냉각체의 하부(14) 사이에 배치되는 멤브레인(2)을 포함하고;상기 냉각체의 상기 하부(14)에는 적어도 하나의 냉각 유체 채널(11)이 제공되고,상기 홀더 바디(3)에는 캐소드 바디(4) 상의 대응하는 외부 체결 장치와 결합되도록 구성된 내부 체결 장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 아크 소스 시스템.
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