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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7005118 (2021-02-19) | |
공개번호 | 10-2021-0034059 (2021-03-29) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/765,245 (2018-08-17) | |
국제출원번호 | PCT/US2019/045681 (2019-08-08) | |
국제공개번호 | WO 2020/036803 (2020-02-20) | |
번역문제출일자 | 2021-02-19 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217005118 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
기판 프로세싱 시스템의 컴포넌트 (component) 에 RF 전력을 제공하기 위한 구동 회로는 제 1 주파수에서 동작하는 플라즈마 소스를 포함한다.로드는 기판 프로세싱 시스템의 컴포넌트를 포함한다.임피던스 네트워크는 플라즈마 소스를 로드에 연결한다.전류 센서는 플라즈마 소스의 출력에서 전류를 센싱한다.전압 센서는 플라즈마 소스의 출력에서 전압을 센싱한다.제어기는 튜닝 주파수 계산기를 포함하고, 튜닝 주파수 계산기는 임피던스 네트워크의 구성, 전류, 및 전압에 기초하여 플라즈마 소스에 대한 튜닝 주파수를 계산하고, 그리고 튜닝 주파
기판 프로세싱 시스템의 컴포넌트 (component) 에 RF 전력을 제공하기 위한 구동 회로에 있어서,제 1 주파수에서 동작하는 플라즈마 소스; 임피던스 네트워크;`기판 프로세싱 시스템의 컴포넌트를 포함하는 로드로서, 상기 임피던스 네트워크는 상기 플라즈마 소스를 상기 로드에 연결하는, 상기 로드;상기 플라즈마 소스의 출력에서 전류를 센싱하는 전류 센서;상기 플라즈마 소스의 상기 출력에서 전압을 센싱하는 전압 센서; 및튜닝 주파수 계산기 (tuned frequency calculator) 를 포함하는 제어기를 포함하고, 상기 튜닝
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