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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 15921266 (2018-03-14) |
공개번호 | 20190287764 (2019-09-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
Frequency tuning for a matchless plasma source is described. To perform the frequency tuning, current is measured at an output of an amplification circuit of the matchless plasma source after a change in a frequency of operation of the matchless plasma source. Upon determining that the current has i
1. A method for optimizing power output of a matchless plasma source including a signal generator, comprising: controlling the signal generator to operate at an operating frequency to generate a pulsed signal that is used to produce a sinusoidal current waveform;measuring a magnitude of current of t
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