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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7013051 (2021-04-29) | |
공개번호 | 10-2021-0060614 (2021-05-26) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2019-031832 (2019-02-25) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/050210 (2019-12-20) | |
국제공개번호 | WO 2020/174845 (2020-09-03) | |
번역문제출일자 | 2021-04-29 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217013051 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-04-29) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
상기 막 형성 장치는 막 형성실을 가지는 챔버와, 기판을 지지하는 스테이지와, 광원 유닛과, 가스 공급부와, 가열부를 구비한다. 상기 광원 유닛은 에너지선을 조사하는 조사원을 가지고, 상기 막 형성실과 대향해서 배치된다. 상기 가스 공급부는 샤워 플레이트와, 가스 확산실을 가진다. 상기 샤워 플레이트는 상기 광원 유닛에 대향하는 제1 면과, 상기 스테이지에 대향하는 제2 면과, 상기 제1 면 및 상기 제2 면을 관통하는 복수의 관통구멍을 포함하고 상기 에너지선을 투과시킨다. 상기 가스 확산실은 상기 제1 면에 면하고 상기 에너지선의
막 형성실을 가지는 챔버와,상기 막 형성실에 배치되고, 기판을 지지하는 스테이지와,에너지선을 조사하는 조사원을 가지고, 상기 막 형성실과 대향해서 배치된 광원 유닛과,상기 광원 유닛에 대향하는 제1 면과, 상기 스테이지에 대향하는 제2 면과, 상기 제1 면 및 상기 제2 면을 관통하는 복수의 관통구멍을 포함하고 상기 에너지선을 투과시키는 샤워 플레이트와, 상기 제1 면에 면하고 상기 에너지선의 조사를 받아서 경화하는 에너지선 경화 수지를 포함하는 원료 가스를 확산시키는 가스 확산실을 가지고, 상기 원료 가스를 상기 가스 확산실로부터
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