$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 단결정 풀러 핫존 구조, 단결정 풀러 및 결정 잉곳 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C30B-015/14
  • C30B-015/30
  • C30B-029/06
출원번호 10-2021-7035390 (2021-10-29)
공개번호 10-2021-0137220 (2021-11-17)
우선권정보 중국(CN) 202010505348.1 (2020-06-05)
국제출원번호 PCT/CN2021/093007 (2021-05-11)
번역문제출일자 2021-10-29
DOI http://doi.org/10.8080/1020217035390
발명자 / 주소
  • 마오 친후 / 중국 ****** 산시 시안 하이-테크 존 사우스 시펑 로드 ****
  • 심복철 / 중국 ****** 산시 시안 하이-테크 존 사우스 시펑 로드 ****
  • 김진근 / 중국 ****** 산시 시안 하이-테크 존 사우스 시펑 로드 ****
출원인 / 주소
  • 시안 이에스윈 머티리얼즈 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 / 중국 ****** 산시 시안 하이-테크 존 사우스 시펑 로드 넘버 **** 룸 *-*-***
  • 시안 이에스윈 실리콘 웨이퍼 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 / 중국 ****** 산시 시안 하이-테크 존 사우스 시펑 로드 ****
대리인 / 주소
  • 유미특허법인
심사청구여부 있음 (2021-10-29)
심사진행상태 거절결정(재심사)
법적상태 거절

초록

본 개시는 단결정 풀러 핫존 구조, 단결정 풀러 및 결정 잉곳를 제공한다. 단결정 풀러 핫존 구조는 단결정 풀러에 응용된다. 상기 단결정 풀러는 로체 및 상기 로체의 내부 센터에 설치된 도가니를 포함한다. 단결정 풀러 핫존 구조는, 상기 도가니 외주에 설치되어 있는 측부 히터; 및 상기 측부 히터와 상기 도가니의 사이에 설치되고, 상기 도가니의 외벽과 기체 유동 통로를 형성하여 기체를 상기 로체 밖으로 배출시키기 위한 것인 플로우 가이드 어셈블리를 포함한다. 본 개시의 실시예의 단결정 풀러 핫존 구조에 따라, 형성된 기체 유동 통로

대표청구항

단결정 풀러에 응용되는 단결정 풀러 핫존 구조에 있어서, 상기 단결정 풀러는 로체 및 상기 로체의 내부 센터에 설치된 도가니를 포함하고, 상기 단결정 풀러 핫존 구조는, 상기 도가니 외주에 설치되어 있는 측부 히터; 및상기 측부 히터와 상기 도가니의 외벽 사이 및 상기 도가니의 하방을 에둘러 설치되고, 상기 도가니의 외벽과 기체 유동 통로를 형성하기 위한 것인 플로우 가이드 어셈블리; 를 포함하며, 상기 기체 유동 통로는 상기 로체의 외부에 연통되어 기체를 상기 로체 밖으로 배출시키기 위한 것인; 단결정 풀러 핫존 구조.

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로