초록 ▼

[과제] 복수의 증발원을 사용한 효율적인 성막 처리를 행하는 것이다.[해결 수단] 성막 장치는, 증착 물질을 방출하는 제1 방출부를 갖는 제1 증발원 및 증착 물질을 방출하는 제2 방출부를 갖는 제2 증발원을 포함하고, 이동하면서 기판에 성막하는 증발원 유닛을 구비한다.제1 방출부와 제2 방출부는, 증발원 유닛의 이동 방향에 있어서의 위치가 다르다.증발원 유닛이 이동 방향으로 이동하면서 제1 증발원에 의해 기판에 성막하는 제1 성막 처리와, 증발원 유닛이 이동 방향으로 이동하면서 제2 증발원에 의해 기판에 성막하는 제2 성막 처리에

[과제] 복수의 증발원을 사용한 효율적인 성막 처리를 행하는 것이다.[해결 수단] 성막 장치는, 증착 물질을 방출하는 제1 방출부를 갖는 제1 증발원 및 증착 물질을 방출하는 제2 방출부를 갖는 제2 증발원을 포함하고, 이동하면서 기판에 성막하는 증발원 유닛을 구비한다.제1 방출부와 제2 방출부는, 증발원 유닛의 이동 방향에 있어서의 위치가 다르다.증발원 유닛이 이동 방향으로 이동하면서 제1 증발원에 의해 기판에 성막하는 제1 성막 처리와, 증발원 유닛이 이동 방향으로 이동하면서 제2 증발원에 의해 기판에 성막하는 제2 성막 처리에서 증발원 유닛의 이동 범위가 다르다.

대표청구항 ▼

성막 장치로서, 증착 물질을 방출하는 제1 방출부를 갖는 제1 증발원과 증착 물질을 방출하는 제2 방출부를 갖는 제2 증발원을 포함하여, 이동하면서 기판에 성막하는 증발원 유닛을 구비하고,상기 제1 방출부와 상기 제2 방출부는, 상기 증발원 유닛의 이동 방향에 있어서의 위치가 다르고,상기 증발원 유닛이 상기 이동 방향으로 이동하면서 상기 제1 증발원에 의해 기판에 성막하는 제1 성막 처리와, 상기 증발원 유닛이 상기 이동 방향으로 이동하면서 상기 제2 증발원에 의해 기판에 성막하는 제2 성막 처리에서, 상기 증발원 유닛의 이동 범위

성막 장치로서, 증착 물질을 방출하는 제1 방출부를 갖는 제1 증발원과 증착 물질을 방출하는 제2 방출부를 갖는 제2 증발원을 포함하여, 이동하면서 기판에 성막하는 증발원 유닛을 구비하고,상기 제1 방출부와 상기 제2 방출부는, 상기 증발원 유닛의 이동 방향에 있어서의 위치가 다르고,상기 증발원 유닛이 상기 이동 방향으로 이동하면서 상기 제1 증발원에 의해 기판에 성막하는 제1 성막 처리와, 상기 증발원 유닛이 상기 이동 방향으로 이동하면서 상기 제2 증발원에 의해 기판에 성막하는 제2 성막 처리에서, 상기 증발원 유닛의 이동 범위가 다른 것을 특징으로 하는 성막 장치.