초록 ▼

본 발명은 연삭 전의 피가공물의 두께가 상면 측정기의 측정 범위를 초과하고 있는 경우에도, 척 테이블이 유지한 피가공물의 상면 높이를 측정하면서 상기 피가공물을 연삭하는 것을 목적으로 한다.본 연삭 장치에서는, Z축 인코더를 이용하여 취득되는 연삭 기구의 하강량|(Z0-Z1)|으로부터, 연삭 기구와 함께 승강하는 상면 높이 측정기를 이용하여 취득되는 연삭 지석의 소모량|(H0-H1)|을 뺌으로써, 웨이퍼의 연삭량을 취득한다. 상면 높이 측정기 및 Z축 인코더를 이용하여 웨이퍼의 연삭량을 측정하고 있기 때문에, 종래와 같이 베이스에

본 발명은 연삭 전의 피가공물의 두께가 상면 측정기의 측정 범위를 초과하고 있는 경우에도, 척 테이블이 유지한 피가공물의 상면 높이를 측정하면서 상기 피가공물을 연삭하는 것을 목적으로 한다.본 연삭 장치에서는, Z축 인코더를 이용하여 취득되는 연삭 기구의 하강량|(Z0-Z1)|으로부터, 연삭 기구와 함께 승강하는 상면 높이 측정기를 이용하여 취득되는 연삭 지석의 소모량|(H0-H1)|을 뺌으로써, 웨이퍼의 연삭량을 취득한다. 상면 높이 측정기 및 Z축 인코더를 이용하여 웨이퍼의 연삭량을 측정하고 있기 때문에, 종래와 같이 베이스에 구비된 상면 높이 측정기에 의해서만 웨이퍼의 연삭량을 구할 필요가 없다. 이 때문에, 연삭 전의 웨이퍼의 두께나 웨이퍼의 연삭량이 상면 높이 측정기의 측정 범위를 초과하고 있는 경우에도, 척 테이블이 유지한 웨이퍼의 연삭량을 측정하면서, 웨이퍼를 연삭할 수 있다.

대표청구항 ▼

연삭 장치로서,유지면이 피가공물을 유지하는 척 테이블과,상기 유지면이 유지한 상기 피가공물의 상면을 연삭 지석에 의해 연삭하는 연삭 기구와,상기 유지면에 수직인 방향으로 상기 연삭 기구를 승강시키는 연삭 이송 기구와,상기 연삭 이송 기구에 의해 승강된 상기 연삭 기구의 높이 위치를 인식하는 높이 위치 인식부와,상기 유지면이 유지한 상기 피가공물의 상면 높이를 측정하는 상면 높이 측정기, 그리고제어 유닛을 구비하고,상기 상면 높이 측정기는, 상기 연삭 이송 기구에 의해 상기 연삭 기구와 함께 상기 유지면에 수직인 방향으로 승강하도록

연삭 장치로서,유지면이 피가공물을 유지하는 척 테이블과,상기 유지면이 유지한 상기 피가공물의 상면을 연삭 지석에 의해 연삭하는 연삭 기구와,상기 유지면에 수직인 방향으로 상기 연삭 기구를 승강시키는 연삭 이송 기구와,상기 연삭 이송 기구에 의해 승강된 상기 연삭 기구의 높이 위치를 인식하는 높이 위치 인식부와,상기 유지면이 유지한 상기 피가공물의 상면 높이를 측정하는 상면 높이 측정기, 그리고제어 유닛을 구비하고,상기 상면 높이 측정기는, 상기 연삭 이송 기구에 의해 상기 연삭 기구와 함께 상기 유지면에 수직인 방향으로 승강하도록 구성되어 있으며,상기 제어 유닛은,상기 연삭 지석의 하면과 동일 수평면의 높이를 상기 상면 높이 측정기에 의해 측정한 값을 H0으로 하고,상기 피가공물에 상기 연삭 지석의 하면이 접촉했을 때에 상기 높이 위치 인식부에 의해 인식되는 상기 연삭 기구의 높이를 Z0으로 하며,상기 연삭 기구를 하강시켜 상기 피가공물을 연삭하고 있을 때에 하방향으로 변화하는, 상기 높이 위치 인식부에 의해 인식되는 상기 연삭 기구의 높이를 Z1로 하고,상기 피가공물을 연삭하고 있을 때에 상기 연삭 지석의 소모에 의해 변화하는 상기 상면 높이 측정기의 측정값을 H1로 하며,연삭 중에, 하기의 식으로 제1 산출값을 산출하는 산출부를 포함하고,|(Z0-Z1)|-|(H0-H1)|=제1 산출값상기 산출부가 산출한 상기 제1 산출값이 미리 설정한 연삭량이 될 때까지, 상기 피가공물을 연삭하는 것인 연삭 장치.