최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-2007-0031519 (2007-03-30) |
등록번호 | 10-0737226-0000 (2007-07-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070031519 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2007-03-30) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 EFEM, 로드락 모듈, 복수의 트랜스퍼 모듈 및 복수의 프로세스 모듈을 구비하여 이루어진다. 상기 EFEM은 핸드에 복수개의 슬롯이 마련되어 복수개의 웨이퍼를 이송하는 제1로봇을 구비한다. 상기 로드락 모듈은 상기 EFEM의 제1로봇에 의해 이송되는 복수개의 웨이퍼가 안착되는 복수개의 슬롯이 마련된 공용 로더를 구비한다. 상기 트랜스퍼 모듈 각각은 상기 공용 로더의 복수개의 슬롯에 안착된 복수개의 웨이퍼중 적어도 하나를 이송하는 제2로봇을 구비한다. 상기 프로
핸드에 복수개의 슬롯이 마련되어 복수개의 웨이퍼를 이송하는 제1로봇을 구비하는 EFEM(EQUIPMENT FRONT END MODULE);상기 제1로봇에 의해 이송된 복수개의 웨이퍼가 안착되는 복수개의 슬롯이 마련된 공용 로더를 구비하는 로드락 모듈(LOADLOCK MODULE); 상기 공용 로더의 복수개의 슬롯에 안착된 복수개의 웨이퍼중 적어도 하나를 이송하는 제2로봇을 각각 구비하는 복수개의 트랜스퍼 모듈(TRANSFER MODULE); 및상기 트랜스퍼 모듈의 제2로봇에 의해 이송된 웨이퍼가 안착되는 샤프트(SHAFT)를 각각
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.