초록 ▼

본 발명은 와이어쏘(wire-saw) 절삭 공정에서 사용되는 절삭유 조성물에 관한 것으로서, 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표현되는 기유 50 내지 95중량%, 킬레이트제 0.1 내지 5중량%, 증점제 0.1 내지 10중량%, 분산제 0.1 내지 5중량%, 유성 향상제 1 내지 20 중량%, 비이온성 계면활성제 1 내지 10중량%로 구성되는 것이며, 잔류 금속 불순물 제거력, 세정력, 점도, 표면장력, 부식성, 분산성, 윤활성 및 웨이퍼 균일도, 마모성 등 모든 특성이 종합적으로 우수하면서도, 특히 세정력 및 금속이온

본 발명은 와이어쏘(wire-saw) 절삭 공정에서 사용되는 절삭유 조성물에 관한 것으로서, 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표현되는 기유 50 내지 95중량%, 킬레이트제 0.1 내지 5중량%, 증점제 0.1 내지 10중량%, 분산제 0.1 내지 5중량%, 유성 향상제 1 내지 20 중량%, 비이온성 계면활성제 1 내지 10중량%로 구성되는 것이며, 잔류 금속 불순물 제거력, 세정력, 점도, 표면장력, 부식성, 분산성, 윤활성 및 웨이퍼 균일도, 마모성 등 모든 특성이 종합적으로 우수하면서도, 특히 세정력 및 금속이온 불순물 제거력이 현저하게 우수한 효과를 나타내는 것이다.

대표청구항 ▼

하기 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표현되는 기유 50 내지 95중량%, 킬레이트제 0.1 내지 5중량%, 증점제 0.1 내지 10중량%, 분산제 0.1 내지 5중량%, 하기 화학식 4 또는 화학식 5로 표현되는 물질 또는 이들의 혼합물인 유성 향상제 1 내지 20 중량%, 비이온성 계면활성제 1 내지 10중량%로 조성된 것을 특징으로 하는 절삭유 조성물.[화학식 1]R1-(CnH2n-4)a-R2[화학식 2]R3-(CnH2n-2)b-R4[화학식 3]R5-(CnH2n)c-R6(상기 화학식 1 내지 화학식 3에서 n은 5

하기 화학식 1, 화학식 2 또는 화학식 3으로 표현되는 기유 50 내지 95중량%, 킬레이트제 0.1 내지 5중량%, 증점제 0.1 내지 10중량%, 분산제 0.1 내지 5중량%, 하기 화학식 4 또는 화학식 5로 표현되는 물질 또는 이들의 혼합물인 유성 향상제 1 내지 20 중량%, 비이온성 계면활성제 1 내지 10중량%로 조성된 것을 특징으로 하는 절삭유 조성물.[화학식 1]R1-(CnH2n-4)a-R2[화학식 2]R3-(CnH2n-2)b-R4[화학식 3]R5-(CnH2n)c-R6(상기 화학식 1 내지 화학식 3에서 n은 5 또는 6이고, a는 5이고, b는 45이고, c는 50이며, R1, R2, R3, R4, R5 및 R6는 각각 H 또는 OH이다.)[화학식 4]R7-COO-R8(상기 화학식 4에서, R7은 수소 또는 알킬이고, R8은 C11-C22의 포화 지방산, 불포화 지방산, 식물성 또는 동물성 지방산 에스테르이며, 상기 화학식은 3 내지 5가 알콜과 일염기 지방산으로부터 유도된 에스테르 화합물이다.)[화학식 5] R9-C(CH3)2(OCOR10)(상기 화학식 5에서, R9는 메틸, 에틸, 프로필 또는 부틸이고, R10은 C11-C22의 알킬이며, 상기 화학식은 3 내지 5가 알콜과 일염기 지방산으로부터 유도된 에스테르 화합물이다.)