최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2022-0185656 (2022-12-27) | |
공개번호 | 10-2023-0104001 (2023-07-07) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210193290 (2021-12-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220185656 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2022-12-27) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 내부에 열처리되는 평판 기판이 위치하고 상기 평판 기판의 하부에 위치하는 빔 조사판과 상기 평판 기판의 상부에 위치하는 적외선 투과판을 구비하는 공정 챔버 및 상기 빔 조사판을 통하여 상기 평판 기판의 하면으로 레이저 빔을 조사하는 빔 조사 모듈을 포함하며, 상기 공정 챔버는 공정 외부 하우징과 공정 내부 하우징 및 벨로우즈 실을 포함하며, 상기 공정 외부 하우징은 상기 평판 기판이 유입되는 공정 외부 게이트를 구비하고 금속 재질로 형성되며, 상기 공정 내부 하우징은 상기 공정 외부 하우징의 내부에 위치하고 상기 공정 외
내부에 열처리되는 평판 기판이 위치하고 상기 평판 기판의 하부에 위치하는 빔 조사판과 상기 평판 기판의 상부에 위치하는 적외선 투과판을 구비하는 공정 챔버 및상기 빔 조사판을 통하여 상기 평판 기판의 하면으로 레이저 빔을 조사하는 빔 조사 모듈을 포함하며,상기 공정 챔버는 공정 외부 하우징과 공정 내부 하우징 및 벨로우즈 실을 포함하며,상기 공정 외부 하우징은 상기 평판 기판이 유입되는 공정 외부 게이트를 구비하고 금속 재질로 형성되며,상기 공정 내부 하우징은 상기 공정 외부 하우징의 내부에 위치하고 상기 공정 외부 게이트와 관통되
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.