초록

렌더링된 이미지는 정렬된 렌더링된 이미지를 생성하기 위해 주사 전자 현미경(SEM) 이미지와 정렬된다. 참조 이미지는 SEM 이미지와 정렬되어 정렬된 참조 이미지를 생성한다. 임계 확률 맵도 생성된다. SEM 이미지와 정렬된 참조 이미지의 동적 보상은 수정된 SEM 이미지와 수정된 참조 이미지를 생성할 수 있다. 임계 결함 맵이 생성될 수 있고, 임계 확률 맵의 결함 및 임계 결함 맵의 신호 대 잡음비 결함은 관심 결함 클러스터를 생성하기 위해 광대역 플라즈마 기반 속성을 사용하여 필터링된다.

대표청구항 ▼

방법에 있어서, 프로세서를 사용하여:정렬된 렌더링된(rendered) 이미지를 생성하도록 렌더링된 이미지를 주사 전자 현미경(SEM) 이미지와 정렬하는 단계;정렬된 참조 이미지를 생성하도록 참조 이미지를 상기 SEM 이미지와 정렬하는 단계;임계 확률 맵을 생성하는 단계 - 상기 임계 확률 맵은, 상기 SEM 이미지 및 상기 정렬된 렌더링된 이미지에서 하나 이상의 결함을 검출하는 것과,임계 확률 맵을 생성하도록 상기 하나 이상의 결함을 관심 결함 또는 누이선스(nuisance)로서 분류하는 것에 의해 생성됨 -;보정된 SEM 이미지

방법에 있어서, 프로세서를 사용하여:정렬된 렌더링된(rendered) 이미지를 생성하도록 렌더링된 이미지를 주사 전자 현미경(SEM) 이미지와 정렬하는 단계;정렬된 참조 이미지를 생성하도록 참조 이미지를 상기 SEM 이미지와 정렬하는 단계;임계 확률 맵을 생성하는 단계 - 상기 임계 확률 맵은, 상기 SEM 이미지 및 상기 정렬된 렌더링된 이미지에서 하나 이상의 결함을 검출하는 것과,임계 확률 맵을 생성하도록 상기 하나 이상의 결함을 관심 결함 또는 누이선스(nuisance)로서 분류하는 것에 의해 생성됨 -;보정된 SEM 이미지 및 보정된 참조 이미지를 생성하도록 상기 SEM 이미지 및 상기 정렬된 참조 이미지에 대해 동적 보상을 수행하는 단계;임계 결함 맵을 생성하는 단계 - 상기 임계 결함 맵은,상기 SEM 이미지와 상기 정렬된 참조 이미지 간의 차이로부터 확률 분포를 결정하는 것과,상기 임계 결함 맵을 생성하도록 신호 대 잡음비 임계값을 상기 확률 분포에 적용하는 것 - 상기 임계 결함 맵은 상기 신호 대 잡음비 임계값을 초과하는 상기 확률 분포의 위치로서 규정된 신호 대 잡음비 결함을 포함함 - 에 의해 생성됨; 및관심 결함 클러스터를 생성하도록 광대역 플라즈마 기반 속성을 사용하여 상기 임계 확률 맵의 결함 및 상기 임계 결함 맵의 신호 대 잡음비 결함을 필터링하는 단계를 포함하는 방법.