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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7027317 (2022-08-08) | |
공개번호 | 10-2022-0123708 (2022-09-08) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2020-038745 (2020-03-06) | |
국제출원번호 | PCT/JP2021/000484 (2021-01-08) | |
국제공개번호 | WO 2021/176841 (2021-09-10) | |
번역문제출일자 | 2022-08-08 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227027317 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-08-08) | |
법적상태 | 공개 |
주사형 전자 현미경과, 계산기를 갖고, (1) 상기 주사형 전자 현미경이 촬상한 복수의 화상을 취득하고, (2) 상기 복수의 화상으로부터, 결함 부위를 포함하는 학습용 결함 화상과, 상기 결함 부위를 포함하지 않는 학습용 참조 화상을 취득하고, (3) 상기 학습용 결함 화상과, 상기 학습용 참조 화상을 사용하여, 추정 처리 파라미터를 산출하고, (4) 결함 부위를 포함하는 검사용 결함 화상을 취득하고, (5) 상기 추정 처리 파라미터와, 상기 검사용 결함 화상을 사용하여, 의사 참조 화상을 추정하는, 시료 관찰 시스템.
주사형 전자 현미경과, 계산기를 갖는 시료 관찰 시스템이며,상기 계산기는:(1) 상기 주사형 전자 현미경이 촬상한 복수의 화상을 취득하고,(2) 상기 복수의 화상으로부터, 결함 부위를 포함하는 학습용 결함 화상과, 상기 결함 부위를 포함하지 않는 학습용 참조 화상을 취득하고,(3) 상기 학습용 결함 화상과, 상기 학습용 참조 화상을 사용하여, 추정 처리 파라미터를 산출하고,(4) 결함 부위를 포함하는 검사용 결함 화상을 취득하고,(5) 상기 추정 처리 파라미터와, 상기 검사용 결함 화상을 사용하여, 의사 참조 화상을 추정하는,시료
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