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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0128348 (2020-10-05) | |
공개번호 | 10-2022-0045499 (2022-04-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200128348 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 웨이퍼 상의 결함을 추론하는 시스템 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 결함 추론 시스템은 반도체 웨이퍼 상에 형성된 회로 패턴을 주사형 전자 현미경을 이용하여 화상화한 제 1 이미지 및 상기 반도체 웨이퍼 상의 상기 회로 패턴을 구현하기 위한 마스크의 레이아웃 이미지를 화상화한 제 2 이미지를 수신하고, 상기 제 1 이미지 및 상기 제 2 이미지를 결합하여 결합 이미지를 생성하는 테스트 장비 및 상기 테스트 장비와 통신 가능하고, 상기 반도체 웨이퍼 상에 형성된 회로 패턴에 대한 결함을 추론하는
반도체 웨이퍼 상에 형성된 회로 패턴을 주사형 전자 현미경을 이용하여 화상화한 제 1 이미지 및 상기 반도체 웨이퍼 상의 상기 회로 패턴을 구현하기 위한 마스크의 레이아웃 이미지를 화상화한 제 2 이미지를 수신하고, 상기 제 1 이미지 및 상기 제 2 이미지를 결합하여 결합 이미지를 생성하는 테스트 장비; 및상기 테스트 장비와 통신 가능하고, 상기 반도체 웨이퍼 상에 형성된 회로 패턴에 대한 결함을 추론하는 적어도 하나의 컴퓨팅 장치를 포함하되,상기 컴퓨팅 장치는:상기 결합 이미지를 수신하고,상기 결합 이미지에 기반하여 상기 결함을
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