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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7038839 (2022-11-04) | |
공개번호 | 10-2022-0153122 (2022-11-17) | |
우선권정보 | 미국(US) 61/899,754 (2013-11-04) | |
국제출원번호 | PCT/US2014/061838 (2014-10-22) | |
국제공개번호 | WO 2015/065793 (2015-05-07) | |
번역문제출일자 | 2022-11-04 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227038839 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-11-07) | |
심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
연마 패드의 연마 층을 제작하는 방법은, 연마 층의 폴리머 매트릭스 내에 임베딩될 입자들의 원하는 분포를 결정하는 단계를 포함한다.3D 프린터를 이용하여, 폴리머 매트릭스의 복수의 층들이 연속적으로 증착되고, 폴리머 매트릭스의 복수의 층들의 각각의 층은, 노즐로부터 폴리머 매트릭스 전구체를 토출함으로써 증착된다.3D 프린터를 이용하여, 입자들의 복수의 층들이, 원하는 분포에 따라, 연속적으로 증착된다.폴리머 매트릭스 전구체는, 입자들이 원하는 분포로 임베딩된 폴리머 매트릭스로 응고된다.
연마(polishing) 패드의 연마 층을 제작하는 방법으로서,상기 연마 층의 폴리머 매트릭스(polymer matrix) 내에 임베딩될(embedded) 입자들의 원하는 분포를 결정하는 단계;3D 프린터를 이용하여, 상기 폴리머 매트릭스의 복수의 층들을 연속적으로 증착하는 단계 ― 상기 폴리머 매트릭스의 복수의 층들의 각각의 층은, 노즐로부터 폴리머 매트릭스 전구체를 토출(ejecting)함으로써 증착되고, 상기 복수의 층들을 연속적으로 증착하는 단계는, 상기 3D 프린터를 이용하여, 상기 원하는 분포에 따라, 상기 복수의 층들에
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