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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-0003018 (2023-01-09) | |
공개번호 | 10-2023-0010000 (2023-01-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020230003018 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명에 따른 활성종 조성 조절이 가능한 플라즈마 발생 장치는 전압 및 전류가 인가되어 전력이 발생하는 제1 전극과, 접지(ground)로 작용하도록 0V의 전위를 가지는 제2 전극 사이에 유전체층이 배치되어 격벽 방전의 형식으로 플라즈마를 발생한다. 한편, 발생한 플라즈마는 각 전극의 복수의 가지 사이에 형성되고 유전체층을 관통하도록 형성된 홀 내부에 생성될 수 있으며, 생성된 플라즈마는 본 발명에 따른 플라즈마 발생 장치의 다양한 전극의 배치관계에 따라 그 두께와 유동방향 등이 결정될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 따른 플라
적어도 하나 이상의 제1 전극;적어도 하나 이상의 제2 전극;상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 사이에 포함되어 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이를 메우도록 형성되는 유전체층;상기 제1 전극과 제2 전극 중 적어도 하나의 일부를 감싸도록 상기 유전체 층의 일면 및 타면 중 하나 이상에 각각 형성되는 보호층; 및상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 형성되는 복수의 홀;을 포함하고,상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 상호 대응되는 수를 가지는 복수의 가지로 분지되고, 상기 복수 개의 홀의 각각의 직경은 서로 다른 두(2)개 이상의
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