초록

본 발명은 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법에 관한 것으로, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법에서, 상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 모듈화 단계; 상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 적어도 하나 이상의 결속끈을 결속하는 결속단계; 및 상기 결속끈을 크레인에 고정한 다음, 상기 크레인을 통해 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 이동시켜 풍도 구간에 설치된 지지용 구조물에 안착시키는 이동단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법에서,상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 모듈화 단계;상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 적어도 하나 이상의 결속끈을 결속하는 결속단계; 및상기 결속끈을 크레인에 고정한 다음, 상기 크레인을 통해 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 이동시켜 풍도 구간에 설치된 지지용 구조물에 안착시키는 이동단계를 포함하고,상기 모듈화 단계와 결속단계의 사이 또는, 상기 결속단계와 상기 이동단계의 사이에는, 상기 지지용 구

반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 풍도 구간에 내부 순환용 공기를 재냉각시키는 드라이 쿨링 코일을 설치하는 방법에서,상기 드라이 쿨링 코일을 조립하여 모듈화하는 모듈화 단계;상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 적어도 하나 이상의 결속끈을 결속하는 결속단계; 및상기 결속끈을 크레인에 고정한 다음, 상기 크레인을 통해 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 이동시켜 풍도 구간에 설치된 지지용 구조물에 안착시키는 이동단계를 포함하고,상기 모듈화 단계와 결속단계의 사이 또는, 상기 결속단계와 상기 이동단계의 사이에는, 상기 지지용 구조물의 상면에 상기 드라이 쿨링 코일을 지지하기 위한 복수개의 설치용 구조물을 교차되게 설치하는 구조물 설치단계; 및 상기 설치용 구조물의 상면에 상기 드라이 쿨링 코일 모듈의 이동을 가이드하기 위한 가이드레일을 교차되게 설치하는 가이드레일 설치단계가 더 포함되고,상기 드라이 쿨링 코일 모듈은,하부프레임;상기 하부프레임의 상면 일측과 타측에 각각 배치되는 한 쌍의 지지프레임;상기 지지프레임에 각각 경사지게 설치되며, 복수개의 드라이 쿨링 코일이 경사각에 대응되는 각도로 설치되는 경사프레임; 및상기 경사프레임의 사이에 배치되고, 상기 지지프레임의 상면에 설치되는 점검로를 포함하며,상기 결속끈은,일측과 타측이 어느 하나의 지지프레임의 일측과 다른 하나의 지지프레임의 타측에 각각 결속되고, 중앙부분이 상기 크레인의 후크에 걸려 고정되는 제1 결속끈유닛; 및상기 제1 결속끈유닛과 교차되면서 일측과 타측이 어느 하나의 지지프레임의 타측과 다른 하나의 지지프레임의 일측에 각각 결속되며, 중앙부분이 상기 크레인의 후크에 걸려 고정되는 제2 결속끈유닛을 포함하고,상기 지지프레임은,상기 하부프레임의 일측과 타측 2개의 모서리 부분에 각각 결합되고, 상측에 상기 경사프레임의 상측이 결합되는 한 쌍의 제1 수직부;상기 제1 수직부와 각각 이격 배치된 상태로 상기 하부프레임의 상면에 결합되고, 상기 제1 수직부보다 짧은 길이를 갖도록 형성되어 상측에 상기 경사프레임의 중앙부분이 결합되는 한 쌍의 제2 수직부; 및상기 제1 수직부의 중앙부분과 상기 제2 수직부의 상측을 각각 연결하는 수평부를 포함하고,상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 상기 풍도 구간에 설치하기 전에 상기 드라이 쿨링 코일에 묻어 있는 이물질을 제거하는 이물질 제거부; 및상기 크레인에 의해 부양되어 있는 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 상기 가이드레일의 상부측에 위치시키기 위한 정밀위치조절부를 포함하며,상기 이물질 제거부는,상기 지지프레임의 내부에 형성된 빈 공간에 각각 배치되며, 양측면에 상기 각각의 수평부 상면과 양측면을 동시에 감싼 상태로 슬라이딩되는 슬라이더가 각각 형성되어 상기 드라이 쿨링 코일 모듈에 대해 전진 또는 후진될 수 있는 전,후진 이동판;상기 전,후진 이동판의 일면에 서로 일정간격 이격되도록 배치되는 복수개의 코일스프링;상기 코일스프링에 각각 결합되어 상기 드라이 쿨링 코일에 각각 충돌되어 이물질 제거에 필요한 진동을 발생시킬 수 있으며, 충격감소를 위해 실리콘 또는 고무재질로 형성되는 충돌부;상기 전,후진 이동판과 마주하도록 배치되는 수평유닛 및 상기 수평유닛을 일정높이로 지지하는 한 쌍의 수직유닛을 포함하고, 이동대차에 의해 위치이동 가능한 회동가이드부;상기 수평유닛에 장착되는 회전링을 포함하여 상기 전,후진 이동판에 대해 가까워지거나 멀어지는 방향으로 그네운동하고, 후면에 고리가 형성된 회동판;상기 회동판의 전면에 적어도 하나 이상으로 결합되고, 상기 회동판이 전진될 시 상기 전,후진 이동판의 타면을 타격하며, 상기 전,후진 이동판이 후진될 시 탄성적으로 지지하는 판스프링;상기 고리를 파지하는 전자식 집게부; 및상기 이동대차에 상,하 방향으로 회동가능하게 힌지 결합되며, 전자식 집게부가 상기 고리를 파지한 후 잡아 당기도록 상기 전자식 집게부를 상기 고리에 대해 전진 또는 후진시키는 구동실린더를 포함하고,상기 정밀위치조절부는,어느 하나의 지지프레임을 구성하는 한 쌍의 제1 수직부에 각각 장착되되, 상기 제1 수직부의 전면과 측면 및 후면을 동시에 감싸도록 'ㄷ'자 단면 형상으로 형성되는 한 쌍의 감쌈부;상면이 개방되고 내부에 승강공간이 수직길이 방향을 따라 형성되며, 수직방향을 따라 수평방향으로 관통되며 상기 승강공간과 연결되는 높낮이 조절홀이 일정간격으로 형성된 제1 서포트유닛 및 상기 감쌈부에 결합되고, 상기 제1 서포트유닛의 승강공간을 따라 승강되면서 상기 감쌈부의 높낮이를 가변시키고, 하측에는 그 승강 높이에 따라 상기 높낮이 조절홀 중 어느 하나와 수평선상에 위치되는 연결홀이 형성된 제2 서포트유닛을 포함하는 한 쌍의 서포트;어느 하나의 높낮이 조절홀 및 상기 연결홀에 공동으로 삽입되어 상기 제2 서포트유닛을 고정시키는 한 쌍의 고정핀;상기 공정실 바닥면에 배치되고, 지면을 따라 이동하는 바퀴를 포함하고, 상기 드라이 쿨링 코일 모듈을 가이드레일의 상부측에 위치시키는 작업을 수행할 시 상기 공정실의 바닥면에 위치되는 이동대차;상기 이동대차에 탑재되되, 일정영역이 상기 이동대차의 외측으로 돌출되는 한 쌍의 전,후진 실린더; 및상기 전,후진 실린더에 각각 교차되는 형태로 탑재되고, 상기 전,후진 실린더에 의해 상기 제1 수직부에 대해 전진 또는 후진되며, 상기 감쌈부가 상기 제1 수직부를 감싼 상태에서 상기 서포트를 각각 좌측 또는 우측으로 이동시켜 상기 하부 프레임을 상기 가이드레일의 상부측에 위치시키는 좌,우 이동실린더를 포함하는 드라이 쿨링 코일 모듈의 설치방법.