[특허]극자외선 마스크 흡수체 재료들

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-001/24 G03F-001/54
출원번호	10-2023-7015361 (2023-05-04)
공개번호	10-2023-0074820 (2023-05-31)
우선권정보	미국(US) 17/063,783 (2020-10-06)
국제출원번호	PCT/US2021/043121 (2021-07-26)
국제공개번호	WO 2022/076057 (2022-04-14)
번역문제출일자	2023-05-04
DOI	http://doi.org/10.8080/1020237015361
발명자 / 주소	리우, 슈웨이 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 리우, 시유 / 미국 * 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 진달, 비부 / 미국 * 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	특허법인 남앤남
심사청구여부	있음 (2023-05-04)
법적상태	공개

초록

극자외선(EUV) 마스크 블랭크들, 이를 제조하기 위한 방법들, 및 이를 위한 생산 시스템들이 개시된다. EUV 마스크 블랭크들은 기판; 기판 상의 반사 층들의 다층 스택; 반사 층들의 다층 스택 상의 캡핑 층; 및 캡핑 층 상의 흡수체 층 ― 흡수체 층은 탄탈럼, 이리듐 및 안티몬의 합금; 이리듐 및 안티몬의 합금; 및 탄탈럼, 루테늄 및 안티몬의 합금으로부터 선택된 합금을 포함함 ―을 포함한다.

대표청구항 ▼

극자외선(extreme ultraviolet; EUV) 마스크 블랭크(mask blank)를 제조하는 방법으로서,EUV 방사선을 반사하는 다층 스택(multilayer stack)을 기판 상에 형성하는 단계 ― 상기 다층 스택은 복수의 반사 층 쌍들을 포함함 ―; 상기 다층 스택 상에 캡핑 층을 형성하는 단계; 및상기 캡핑 층 상에 흡수체 층(absorber layer)을 형성하는 단계 ― 상기 흡수체 층은 탄탈럼, 이리듐 및 안티몬의 합금; 이리듐 및 안티몬의 합금; 및 탄탈럼, 루테늄 및 안티몬의 합금으로부터 선택됨 ―를 포함하

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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