초록 ▼

본 고안은 순수 공급에 의한 와류를 억제하여 와류지역에 남아 있던 불순물이 웨이퍼에 재흡착되는 것을 방지하는 웨치퍼 세정장치에 관한 것으로, 상기 용기(1)의 내측면에 수평되게 그 양단이 고정된 다수의 지지수단(3); 상기 지지수단(3)의 하단 양측에 일체로 구비되며, 그 상측에 소정크기의 질소배출구(4a)가 다수 형성된 질소버블수단(4); 상기 용기(1)의 하단벽 일측에 구비되며, 외부로 부터 순수를 공급받아 상기 용기(1)내로 분출하는 적어도 하나 이상의 순수공급노즐(6)을 구비하여 순수공급에 따른 용기 내부기기의 부딪힘이나 웨

본 고안은 순수 공급에 의한 와류를 억제하여 와류지역에 남아 있던 불순물이 웨이퍼에 재흡착되는 것을 방지하는 웨치퍼 세정장치에 관한 것으로, 상기 용기(1)의 내측면에 수평되게 그 양단이 고정된 다수의 지지수단(3); 상기 지지수단(3)의 하단 양측에 일체로 구비되며, 그 상측에 소정크기의 질소배출구(4a)가 다수 형성된 질소버블수단(4); 상기 용기(1)의 하단벽 일측에 구비되며, 외부로 부터 순수를 공급받아 상기 용기(1)내로 분출하는 적어도 하나 이상의 순수공급노즐(6)을 구비하여 순수공급에 따른 용기 내부기기의 부딪힘이나 웨이퍼의 이동시 와류에 의해 재흡착되는 것을 방지하여 웨이퍼의 세정능력을 향상시키고, 제품의 질 및 수율을 제고시키는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

그 하단부 중앙에 드레인 홀(1a)이 형성된 용기(1)와, 상기 용기(1)내로 이동되는 웨이퍼 캐리어를 고정하는 소정크기의 캐리어고정용 가이드(5)와, 상기 용기(1)의 외측면 상단 소정위치에 일체로 경사지게 구비되며, 용액이 외부로 넘치는 것을 폐수처리할 수 있도록 그 일측면에 용액배출구(2a)가 형성된 보조용기(2)가 구비된 웨이퍼 세정장치에 있어서, 상기 용기(1)의 내측면 소정위치에 소정간격으로 수평되게 그 양단이 각각 고정, 장착되어 상기 캐리어고정용 가이드(5)가 그 상측에 놓여지도록 하여 지지하는 다수의 지지수단(3);

그 하단부 중앙에 드레인 홀(1a)이 형성된 용기(1)와, 상기 용기(1)내로 이동되는 웨이퍼 캐리어를 고정하는 소정크기의 캐리어고정용 가이드(5)와, 상기 용기(1)의 외측면 상단 소정위치에 일체로 경사지게 구비되며, 용액이 외부로 넘치는 것을 폐수처리할 수 있도록 그 일측면에 용액배출구(2a)가 형성된 보조용기(2)가 구비된 웨이퍼 세정장치에 있어서, 상기 용기(1)의 내측면 소정위치에 소정간격으로 수평되게 그 양단이 각각 고정, 장착되어 상기 캐리어고정용 가이드(5)가 그 상측에 놓여지도록 하여 지지하는 다수의 지지수단(3); 상기 지지수단(3)과 교차되도록 그의 하단 양측에 일체로 구비되며, 외부로 부터 공급된 질소를 방출하도록 그 상측에 소정크기의 질소배출구(4a)가 다수 형성된 질수버블수단(4); 상기 드레인 홀(1a)이 형성된 용기(1)의 하단벽 일측 소정위치에 구비되며, 외부로 부터 순수를 공급받아 상기 용기(1)내로 분출하는 적어도 하나 이상의 순수공급수단(6)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치.